圓度測量單元， C-軸

圓度誤差 (μm+μm/mm 測量高度)**

0.03 + 0.0006

圓度誤差 (μm+μm/mm 測量高度)*

0.015 + 0.0003

軸向跳動 (μm+μm/mm meas. radius)**

0.04 + 0.0006

軸向跳動 (μm+μm/mm meas. radius)*

0.02 + 0.0001

調(diào)心調(diào)平工作臺

手動

工作臺直徑 (mm)

160

工作臺承重， 無偏心 (N)

200

轉(zhuǎn)速 (rpm) 50 Hz/60 Hz

1to15

垂直直線測量單元， Z軸

定位行程 (mm)

-

電機驅(qū)動測量長度（mm）

250

直線度誤差/100 mm測量長度 (μm)**

0.15

直線度誤差/全行程長度(μm)**

0.3

平行度誤差Z/C軸，沿測頭掃描方向(μm-mm)

0.5

測量速度(mm/s)

0.5to5

定位速度(mm/s)

0.5to100

水平直線測量單元， X軸

定位行程 (mm)

自動150

電機驅(qū)動測量長度（mm）

-

直線度誤差/100 mm測量長度 (μm)**

-

直線度誤差/全行程長度(μm)**

-

垂直度X/C軸(μm)

-

定位速度 (mm/s)

0.5to30

測量速度

-