內(nèi)蒙古電子廠廢氣處理設(shè)備利用高能高臭氧UV紫外線光束分解空氣中的氧分子產(chǎn)生游離氧，即活性氧，因游離氧所攜正負電子不平衡所以需與氧分子結(jié)合，進而產(chǎn)生臭氧。
UV＋O2→O-+O＊(活性氧)O+O2→O3(臭氧),*臭氧對有機物具有*的氧化作用，對惡臭氣體及其它刺激性異味有*的清除效果。
惡臭氣體利用排風設(shè)備輸入到本凈化設(shè)備后，凈化設(shè)備運用高能C波光束及臭氧對惡臭氣體進行協(xié)同分解氧化反應(yīng)，使惡臭氣體物質(zhì)其降解轉(zhuǎn)化成低分子化合物、水和二氧化碳，再通過排風管道排出室外。

利用高能UV光束裂解惡臭氣體中細菌的分子鍵，破壞細菌的核酸（DNA），再通過臭氧進行氧化反應(yīng)，*達到脫臭及殺滅細菌的目的。先有機廢氣經(jīng)干式過濾器去除部分粉塵顆粒物，然后將符合吸附條件的有機廢氣送入活性炭吸附箱進行吸附凈化，凈化后的潔凈氣體由主排風機排入大氣中。吸附裝置配有備用吸附箱1套，當活性炭吸附飽和后通過控制閥門切換至催化燃燒脫附狀態(tài)；脫附再生系統(tǒng)采用在線脫附再生（也可采用離線脫附再生），即吸附過程為連續(xù)式處理工藝，在備用吸附裝置投入使用同時，飽和吸附箱則進行脫附工作，脫附后活性炭箱預(yù)備至下次循環(huán)使用。