國華GH-216等離子體表面清洗系統(tǒng)標準配置表

機臺名稱

等離子表面處理設備PCB層壓處理

機臺型號

GH-216

機臺用途

5種氣體通入，不同組合用于不同工藝制造，可用于高頻板PTFE類、軟硬結合板、多層軟板等除膠渣等制造工藝，柔性板化金前后清洗、打線邦定前清洗等處理，SMT前清洗等

技術參數(shù)

備注

1

機臺整機規(guī)格

1450mm(W)×1720mm(H)×1300 mm(D)

2

真空室規(guī)格

進口鋁進口鋁 600(W)×600(H)×600(D))mm

3

電極板規(guī)格

進口鋁 582(W)×500D)mm

4

單層有效處理區(qū)尺寸

530(W)× 450D)mm

5

真空電極結構

水平電極板10層, 處理9層工件

極板間距/上極板到托架

51mm/32.5mm

6

真空泵系統(tǒng)

真空泵組韓國優(yōu)成

7

PLC自動控制系統(tǒng)硬件

OMRON/SIEMENS-PLC及擴展模塊(D/A轉換、A/D轉換、溫度控制）

日本歐姆龍/西門子

8

人機工控系統(tǒng)

觸摸屏式全中文界面

9

溫度控制系統(tǒng)

OMRON/SIEMENS溫度傳感模塊，PID閉環(huán)控制，溫度可控

10

真空測定系統(tǒng)

皮拉尼電阻式真空計

日本愛發(fā)科

11

真空供氣系統(tǒng)

Ф6品牌軟管+不銹鋼鎖套管路

進口優(yōu)質不銹鋼

12

真空排氣系統(tǒng)

全不銹鋼管路+波紋管

進口優(yōu)質不銹鋼

13

破真空系統(tǒng)

倒計時自動開合啟動

14

氣體控制系統(tǒng)

電磁閥控制

日本CKD

15

氣體計量系統(tǒng)

2路精確質量流量控制計：MFC

SevenStar

16

等離子發(fā)生器

額定功率：0-1000W，射頻全自動匹配（國華自主研發(fā)）

17

其他組件

國內外元器件

18

機臺總重

約600kg

19

額定功率

額定功率 4.5KW

20

機臺供電

 AC-380V-50Hz，三相五線

21

單次處理時間

10-60分鐘不等（根據產品特征，時間設定不同）

22

工作真空度

0.15～0.3Torr （可根據要求設定，可恒定真空度）

23

真空泵極限壓力

5pa以下

24

抽真空時間

抽到工作真空≤180秒

25

破真空時間

≤60秒

26

供氣方式

電磁閥式

27

流量計調節(jié)范圍

2路獨立MFC  0-500sccm（毫升/分鐘）,      

28

操作方式

人工取放工件，一鍵啟動自動控制