、可以選配13.56MHZ射頻電源、40KHZ中頻電源； 2、關(guān)鍵部件自制，設(shè)備性價比高； 3、腔體容積：60-3000升； 4、使用氣體 ：氬氣(AR)/氮?dú)猓∟2)/壓縮空氣（CDA）/CF4/等氣體； 5、可定制在線真空等離子清洗機(jī)來連客戶流水線，實(shí)現(xiàn)自動化。、可以選配13.56MHZ射頻電源、40KHZ中頻電源； 2、關(guān)鍵部件自制，設(shè)備性價比高； 3、腔體容積：60-3000升； 4、使用氣體 ：氬氣(AR)/氮?dú)猓∟2)/壓縮空氣（CDA）/CF4/等氣體； 5、可定制在線真空等離子清洗機(jī)來連客戶流水線，實(shí)現(xiàn)自動化。、可以選配13.56MHZ射頻電源、40KHZ中頻電源； 2、關(guān)鍵部件自制，設(shè)備性價比高； 3、腔體容積：60-3000升； 4、使用氣體 ：氬氣(AR)/氮?dú)猓∟2)/壓縮空氣（CDA）/CF4/等氣體； 5、可定制在線真空等離子清洗機(jī)來連接戶流水線，實(shí)現(xiàn)自動化。