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    LGH測頭高精度激光全息光柵式測微儀(0.005um分辨率)

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    更新時間:2020-10-27 18:25:32瀏覽次數(shù):578

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    產(chǎn)品簡介

    LGH測頭高精度激光全息光柵式測微儀(0.005um分辨率)

    詳細(xì)介紹

    日本三豐LGH測頭高精度激光全息光柵式測微儀(0.005um分辨率)LGH-0510-B-EH/542-720/542-721

    產(chǎn)品特點(diǎn):


    1.裝配了采用新的光電式反射型線性編碼器的高精度測量機(jī)。緊湊型機(jī)身配合測微頭,與以前的激光測長機(jī)等機(jī)器裝備組合,大幅削減成本的同時,也為裝置小型化做出巨大貢獻(xiàn)。不僅可以作為高精度零部件的測量和高精度定位、控制裝置的測長傳感器,也適合作為測量機(jī)設(shè)備的基準(zhǔn)規(guī)。

    2. 也具有低測力規(guī)格產(chǎn)品:根據(jù)用途可以選擇低測力規(guī)格,可以測量易變形工件和高性能膠片等。

    3. LGH 系列是與計數(shù)器的組合規(guī)格。

    4.裝配新開發(fā)的超高精度透射型線性編碼器,實現(xiàn)0.005μm(5nm) 的高分辨力

    5.在測量范圍10mm 的寬范圍內(nèi)實現(xiàn)了指示精度0.1μm。適用于標(biāo)準(zhǔn)規(guī)的校正· 賦值,以及用于測量機(jī)的基準(zhǔn)器

    技術(shù)參數(shù):

    型式

    LGH-0510-B-EH ( 標(biāo)準(zhǔn)型)

    LGH-0510C-B-EH ( 低測力型 ) *2

    貨號

    542-720

    542-721

    測量范圍

    10mm

    分辨力

    0.005m ( 0.01m, 0.05m, 0.1m用計數(shù)器可切換)

    指示精度(20°C)

    0.1m

    重復(fù)精度(2σ)0.02

    0.02um

    0.02um

    量化誤差

    0.05um

    0.05um


    測桿朝下

    約0.65N以下

    約0.1N以下


    測力

    水平

    約0.55N以下

    使用不可



    測桿朝上

    約0.45N以下

    使用不可


    位置檢出方式

    超高精度透射型線性編碼器

    超高精度透射型線性編碼器

    存儲溫度(濕度)范圍

    -10°C~60°C/20~80%(無冷凝)-10°C~60°C/20~80%(無冷凝)

    響應(yīng)速度

    250mm/s

    250mm/s

    重量

    約370g

    約370g

    塵 / 水防護(hù)等級*1

    達(dá)到IP54防護(hù)等級

    測頭

    硬質(zhì)合金SR5(M2.5(P=0.45)×5)標(biāo)準(zhǔn)測頭20058

    裝夾套筒

    直徑15mm

    軸承類型

    高精度線性滾珠軸承

    輸出電纜長度

    約2m

    接口

    RS-232C USB (SENSORPAK)Digimatic輸出(打印機(jī):*DP-1VALOGGER)I/O電纜

    運(yùn)行溫度(濕度)范圍

    15~25C(基準(zhǔn)溫度度20°C)/30~60%RH(無冷凝)

    計數(shù)器規(guī)格:

    量化誤差±1

    分辨力 ±99.999995mm

    功能 調(diào)零,預(yù)調(diào)、方向轉(zhuǎn)換、公差判定(3段/5段)、RS-RINK

    接口 RS-232C/ 數(shù)顯 /USB  ( 僅 SENSORPAK )

    電源 附帶 AC 適配器 , DC + 12 ~ 24V, MAX700mA

    功耗8.4W ( MAX 700mA )

    每個裝置的可靠供電應(yīng)在 1A 以上

    外形尺寸 144 ( W ) × 157 ( D ) × 75 ( H )

    重量 約 900g ( 不包括 AC 適配器 )

    標(biāo)準(zhǔn)配件

    扳手 ( 用于更換測頭 ) ,橡膠腳墊,支架,墊圈 ( 用于計數(shù)器 ) , AC 適配器,

    交流電源線, DC 插頭,用戶手冊,檢驗證書


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