詳細(xì)介紹
日本三豐LGH測頭高精度激光全息光柵式測微儀(0.005um分辨率)LGH-0510-B-EH/542-720/542-721
產(chǎn)品特點(diǎn):
1.裝配了采用新的光電式反射型線性編碼器的高精度測量機(jī)。緊湊型機(jī)身配合測微頭,與以前的激光測長機(jī)等機(jī)器裝備組合,大幅削減成本的同時,也為裝置小型化做出巨大貢獻(xiàn)。不僅可以作為高精度零部件的測量和高精度定位、控制裝置的測長傳感器,也適合作為測量機(jī)設(shè)備的基準(zhǔn)規(guī)。
2. 也具有低測力規(guī)格產(chǎn)品:根據(jù)用途可以選擇低測力規(guī)格,可以測量易變形工件和高性能膠片等。
3. LGH 系列是與計數(shù)器的組合規(guī)格。
4.裝配新開發(fā)的超高精度透射型線性編碼器,實現(xiàn)0.005μm(5nm) 的高分辨力
5.在測量范圍10mm 的寬范圍內(nèi)實現(xiàn)了指示精度0.1μm。適用于標(biāo)準(zhǔn)規(guī)的校正· 賦值,以及用于測量機(jī)的基準(zhǔn)器
技術(shù)參數(shù):
型式 | LGH-0510-B-EH ( 標(biāo)準(zhǔn)型) | LGH-0510C-B-EH ( 低測力型 ) *2 | ||
貨號 | 542-720 | 542-721 | ||
測量范圍 | 10mm | |||
分辨力 | 0.005m ( 0.01m, 0.05m, 0.1m用計數(shù)器可切換) | |||
指示精度(20°C) | 0.1m | |||
重復(fù)精度(2σ)0.02 | 0.02um | 0.02um | ||
量化誤差 | 0.05um | 0.05um | ||
測桿朝下 | 約0.65N以下 | 約0.1N以下 | ||
測力 | 水平 | 約0.55N以下 | 使用不可 | |
測桿朝上 | 約0.45N以下 | 使用不可 | ||
位置檢出方式 | 超高精度透射型線性編碼器 | 超高精度透射型線性編碼器 | ||
存儲溫度(濕度)范圍 | -10°C~60°C/20~80%(無冷凝) | -10°C~60°C/20~80%(無冷凝) | ||
響應(yīng)速度 | 250mm/s | 250mm/s | ||
重量 | 約370g | 約370g | ||
塵 / 水防護(hù)等級*1 | 達(dá)到IP54防護(hù)等級 | — | ||
測頭 | 硬質(zhì)合金SR5(M2.5(P=0.45)×5)標(biāo)準(zhǔn)測頭20058 | |||
裝夾套筒 | 直徑15mm | |||
軸承類型 | 高精度線性滾珠軸承 | |||
輸出電纜長度 | 約2m | |||
接口 | RS-232C USB (SENSORPAK)Digimatic輸出(打印機(jī):*DP-1VALOGGER)I/O電纜 | |||
運(yùn)行溫度(濕度)范圍 | 15~25C(基準(zhǔn)溫度度20°C)/30~60%RH(無冷凝) |
計數(shù)器規(guī)格:
量化誤差±1
分辨力 ±99.999995mm
功能 調(diào)零,預(yù)調(diào)、方向轉(zhuǎn)換、公差判定(3段/5段)、RS-RINK
接口 RS-232C/ 數(shù)顯 /USB ( 僅 SENSORPAK )
電源 附帶 AC 適配器 , DC + 12 ~ 24V, MAX700mA
功耗8.4W ( MAX 700mA )
每個裝置的可靠供電應(yīng)在 1A 以上
外形尺寸 144 ( W ) × 157 ( D ) × 75 ( H )
重量 約 900g ( 不包括 AC 適配器 )
標(biāo)準(zhǔn)配件
扳手 ( 用于更換測頭 ) ,橡膠腳墊,支架,墊圈 ( 用于計數(shù)器 ) , AC 適配器,
交流電源線, DC 插頭,用戶手冊,檢驗證書