詳細介紹
XYZ雙驅直線電機平臺
1)直線電機平臺爲雙驅龍門式結構,共六軸,下軸定義爲Y1&Y2軸,橫軸定義為Y軸,橫梁定義爲X軸,垂直軸定義爲Z軸,旋轉軸定義為U軸,ACS控制。
2)Z軸使用線性模塊,規(guī)格爲KL100-L20-S200-BD-Y400W,配光柵尺。大理石為00級
長寬高:1350*1102*153mm(標準為1350*1102*150mm)
左右立柱高:370mm(標準為370mm)
XYZ雙驅直線電機平臺技術參數
Y軸 | X軸 | Z軸 | U軸 | |
類型 | 直線電機 | 直線電機 | 線性橫線 | DD馬達 |
有效行程 | 550mm | 750mm | 200mm | |
高速度 | 0.8m/s | 0.8m/s | 0.5mm/s | |
大加速度 | 10m/s^2 | 10m/s^2 | 3m/s^2 | |
重復定位精度 | ±0.3μm | ±0.5μm | ±3μm | 0.5m/s |
光柵尺分辨率 | 0.5μm | 0.5μm | 1μm |
XYZ雙驅直線電機平臺各運動部分運動靈活、平穩(wěn)、可靠、無卡滯現象,無異常噪音,高速無明顯震動,低速無爬行現象
XYZ雙驅直線電機平臺應用
激光行業(yè):激光切割、激光雕刻、激光打標
半導體行業(yè):晶圓檢測與探測、半導體固晶機、半導體金線焊線機、集成塊檢測與探測、高速取放與傳送設備等
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