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詳細介紹
ATLEX-I高重頻*
新一代緊湊型風冷式，高重復率的*，專為低、中占空比應用設(shè)計。
高重頻*主要特點
ª 超快電暈預電離技術(shù)
ª HV-固態(tài)脈沖發(fā)生器
ª 激光腔體<3L
ª 全新技術(shù)的金屬陶瓷腔
ª 集成真空泵和鹵素過濾器
ª 全部風冷，溫度控制
ª 系統(tǒng)集成RS485，RS232，USB和FOC接口
ª 方便清洗的光學鏡架
ª 能量穩(wěn)定模式
ª 符合歐洲CE標準
ª RoHS認證
應用
ª 微加工
ª 激光燒蝕
ª 醫(yī)學（屈光手術(shù)）
ª 光譜學
ª 計量
技術(shù)規(guī)格
氣體介質(zhì) | F2 | ArF | KrF | XeCl | XeF | |
波長 | 157 | 193 | 248 | 308 | 351 | nm |
高壓開關(guān)技術(shù) | 固態(tài)開關(guān) | |||||
大脈沖能量 1 | 1 | 10 | 15 | 8 | 7 | mJ |
大平均功率 ATLEX-300-I ATLEX-500-I |
0.2 0.5 |
2.4 4.0 |
4.0 6.5 |
2.0 3.0 |
1.7 2.5 |
W W |
大重復頻率 ATLEX-300-I ATLEX-500-I |
300 500 |
Hz Hz | ||||
脈沖寬度 2 | 5 – 8 | ns | ||||
光斑尺寸 2 (V x H) | 4 x 6 | mm | ||||
光束發(fā)散角 2 (V x H) | 1 x 2 | mrad | ||||
能量穩(wěn)定性 (標準差) | < 3 | % | ||||
尺寸 (L x W x H) | 540 x 470 x 370 | mm | ||||
重量 | 60 | kg | ||||
冷卻方式 | 風冷 |
| ||||
電源要求 | 230 VAC / 6,3 A / 1 phase / 50-60 Hz |
| ||||
所有規(guī)格都是典型的數(shù)據(jù)，如產(chǎn)品有改進，恕不另行通知更改。
1 在低重復頻率情況下測得： 應用能量穩(wěn)定模式將會有10%的輸出能量損失。
2 典型值, FWHM。
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