滑動(dòng)式二硫化鉬CVD制備設(shè)備

一、 滑動(dòng)式二硫化鉬CVD制備設(shè)備概述
硫粉預(yù)熱器采用管內(nèi)測(cè)控溫以保證在250℃以下，穩(wěn)定控制硫蒸汽的蒸發(fā)時(shí)機(jī)和蒸發(fā)溫度。真空機(jī)組裝有真空粉塵過(guò)濾器以保護(hù)機(jī)械式真空泵不被硫粉塵損壞。采用耐腐蝕電阻電容復(fù)合真空計(jì)（在1000Pa以上測(cè)量不受氣體種類(lèi)影響，耐硫蒸氣腐蝕），通過(guò)調(diào)節(jié)真空蝶閥的開(kāi)啟程度調(diào)節(jié)爐管內(nèi)壓力穩(wěn)定，在1200℃以下的工藝溫度穩(wěn)定氣相沉積二硫化鉬等二維化合物材料。
二、  滑動(dòng)式二硫化鉬CVD制備設(shè)備設(shè)備組成
HCVD-1200S雙溫區(qū)管式爐，HTF400C硫粉預(yù)熱器(雙溫區(qū)管式爐與預(yù)熱器可滑動(dòng))，質(zhì)量流量計(jì)供氣系統(tǒng)，機(jī)械式真空泵等組成。
 三、  滑動(dòng)式二硫化鉬CVD制備設(shè)備主要技術(shù)參數(shù)
硫粉預(yù)熱器 

型號(hào)：HTF-400C

工作溫度：350℃

MAX溫度：400℃

MAX升溫速率：30℃/min

推薦升溫速率：10℃/min

控溫方式：智能化30段可編程控制

工作電壓：AC220 V額定功率：800W

控溫精度：±1℃

加熱元件：電阻絲 

雙溫區(qū)硫化爐 

型號(hào)：HCVD-1200S

技術(shù)參數(shù)：額定功率(KW):3

額定電壓(V):AC220v  50/60 Hz

MAX溫度(℃):1200（1 hour）

持續(xù)工作溫度(℃）：1100

升溫速率（℃/min）：≤50

爐管尺寸（mm）：高純石英管Φ50×1500mm

加熱區(qū)長(zhǎng)度（mm）：440mm

恒溫區(qū)長(zhǎng)度（mm）:200mm 

控溫方式:模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié)，智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報(bào)警功能

控溫精度(℃):±1

加熱元件:電阻絲
供氣系統(tǒng)GMF3Z 

質(zhì)量流量計(jì)重量：35Kg

外形尺寸：600x600x650mm

連接頭類(lèi)型：雙卡套不銹鋼接頭

標(biāo)準(zhǔn)量程（N2標(biāo)定)：50sccm、200sccm、500sccm； （可根據(jù)用戶要求定制）

準(zhǔn)確度：±1.5%線性：±0.5～1.5%重復(fù)精度：±0.2%

響應(yīng)時(shí)間：氣特性：1～4 Sec，電特性：10 Sec

工作壓差范圍：0.1～0.5 MPa MAX壓力：3MPa

接口：Φ6,1/4''

顯示：4位數(shù)字顯示

工作環(huán)境溫度:5~45℃

內(nèi)外雙拋不銹鋼管：Φ6

壓力真空表：－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格 

截止閥：Φ6
低真空機(jī)組VAU-02 

技術(shù)參數(shù)：

空氣相對(duì)濕度≤85%

工作電電壓：220V±10%  50~60HZ

 功率：1千瓦

抽氣速率：4L/s

極限真空：4X10-2Pa

實(shí)驗(yàn)真空度：1.0X10-1Pa

容油量：1.1L

進(jìn)氣口口徑：KF25

排氣口口徑：KF25

轉(zhuǎn)速：1450rpm

噪音：50dB

外型尺寸:450×180×240mm
配真空粉塵過(guò)濾器，DN25手動(dòng)蝶閥用于控制爐管內(nèi)壓力，INFICON PCG554復(fù)合真空計(jì)