加工元件表面粗糙度可達(dá)納米級(jí)，口徑大可達(dá)到350mm，可加工各種高精度平面、球面、非球面及離軸元件和自由曲面元件。可加工銅、鋁、單晶鍺、硒化鋅、樹脂、PMMA等材料。在三軸聯(lián)動(dòng)模式下還可加工離軸元件、柱面、子午面等非回轉(zhuǎn)對(duì)稱元件和自由曲面，配以特殊*可以實(shí)現(xiàn)微結(jié)構(gòu)元件的加工，如各種衍射元件和菲涅爾透鏡等。

海普超精自主研制的超精密模具DJC-350A超精密單點(diǎn)金剛石可加工：

1、可加工各種平面、球面、非球面，還可加工離軸元件、柱面、子午面等非回轉(zhuǎn)對(duì)稱元件和自由曲面

2、可實(shí)現(xiàn)衍射元件和菲涅爾透鏡等微結(jié)構(gòu)元件的加工

3、可加工銅、鋁、單晶鍺、硒化鋅、樹脂、PMMA等材料

4、工件口徑可達(dá)到350mm，工件表面粗糙度Ra<3nm，面型精度PV值<0.2μm

設(shè)備精度：

Z軸（沿主軸）

1.大行程： 350mm 

2.直線度：0.2μm/100mm 

3.定位精度 ：0.5μm±0.5μm×Lmm/100mm

4.重復(fù)定位精度： 0.3μm

5.分辨率：1nm

6.大進(jìn)給速度： 20mm/s

X軸（垂直于主軸）

1.大行程： 350mm 

2.直線度： 0.2μm/100mm 

3.定位精度： 0.5μm±0.5μm×Lmm/100mm

4.重復(fù)定位精度： 0.3μm

5.分辨率：1nm

6.大進(jìn)給速度： 20mm/s

C軸（工件軸） 

1.徑跳和端跳 ： 0.05μm

2.C軸轉(zhuǎn)速：0-1000rpm； 主軸轉(zhuǎn)速： 0-4000rpm

3.轉(zhuǎn)角定位精度： 30″ 

4.轉(zhuǎn)角重復(fù)性定位精度：10″

設(shè)備使用環(huán)境：

1.要求隔震地基，設(shè)備在溫度:20±2℃，一天內(nèi)溫度梯度小于2℃。濕度：＜50%的環(huán)境下使用。

2.空氣過(guò)濾精度：0.5um。除油、除水。
3.空氣壓力：≥0.6MPa。
4.空氣流量: ≥0.3m³/min。
5.電源：380V，設(shè)備功率：≤5KW。