菲涅爾透鏡DJC-350A超精密單點金剛石車床技術(shù)特點:
- 采用全閉環(huán)控制技術(shù),可有效提高零件的加工精度和機(jī)床的精度穩(wěn)定性。加工元件表面粗糙度可達(dá)納米級,**加工直徑可達(dá)到350 mm。
- 采用超精密空氣靜壓主軸,無摩擦損耗,運轉(zhuǎn)平穩(wěn),有效提高主軸回轉(zhuǎn)精度高,具有C軸功能。
- 采用超精密液體靜壓導(dǎo)軌,具有良好的剛性和阻尼特性。
- 適用于加工銅、鋁、單晶鍺、硒化鋅、樹脂、PMMA等材料。配以特殊*可以實現(xiàn)微結(jié)構(gòu)元件的加工,如各種衍射元件和菲涅爾透鏡等。
技術(shù)參數(shù):
Z軸(沿主軸)
1.**行程:350mm
2.直線度: 0.2μm/100mm
3.定位精度 :0.5μm±0.5μm×Lmm/100mm
4.重復(fù)定位精度: 0.3μm
5.分辨率:1nm
6.**進(jìn)給速度: 20mm/s
X軸(垂直于主軸)
1.**行程: 350mm
2.直線度:0.2μm/100mm
3.定位精度:0.5μm±0.5μm×Lmm/100mm
4.重復(fù)定位精度: 0.3μm
5.分辨率:1nm
6.**進(jìn)給速度: 20mm/s
C軸(工件軸)
1.徑跳和端跳 : 0.05μm
2.C軸轉(zhuǎn)速:0-1000rpm; 主軸轉(zhuǎn)速: 0-4000rpm
3.轉(zhuǎn)角定位精度: 30″
4.轉(zhuǎn)角重復(fù)性定位精度:10″
機(jī)床配置:
●采用超精密空氣靜壓主軸,無摩擦損耗,回轉(zhuǎn)精度高,具有C軸功能。
●天然花崗巖基座,保證機(jī)床*穩(wěn)定性
● PMAC控制卡,可二次開發(fā)。
● 主軸采用內(nèi)裝式電機(jī)+高精度編碼器。
● 主軸軸端安裝有動平衡盤和真空吸盤。
● 超精密液體靜壓導(dǎo)軌,具有較好的剛性和阻尼性。
● X/Z軸均采用直線電機(jī)驅(qū)動,全閉環(huán)控制。