詳細(xì)介紹
晶圓打孔加工鍍金硅片異形切割二氧化硅流道加工
激光切割硅片應(yīng)用行業(yè):
半導(dǎo)體集成電路,包括單雙臺面玻璃鈍化二極管晶圓切割劃片,單雙臺面可控硅晶圓切割劃片,砷化鎵,氮化鎵,IC晶圓切割劃片。
硅片切割機又名硅片激光切割機,激光劃片機。是激光劃片機在 電子行業(yè)硅基片的切割的又一新領(lǐng)域的應(yīng)用。激光劃片是利用高能激光束照射在工件表面,使被照射區(qū)域局部熔化、氣化、從而達(dá)到劃片的目的。因激光是經(jīng)***光學(xué)系統(tǒng)聚焦后成為一個非常小的光點,能量密度高,因其加工是非接觸式的,對工件本身無機械沖壓力,工件不易變形。熱影響極小,劃精度高,***應(yīng)用于太陽能電池板、薄金屬片的切割和劃片。
激光劃片機主要用于金屬材料及硅、鍺、砷化鎵和其他半導(dǎo)體襯底材料劃片和切割,可加工太陽能電池板、硅片、陶瓷片、鋁箔片等,工件精細(xì)美觀,切邊光滑。采用連續(xù)泵浦聲光調(diào)Q的Nd:YAG激光器作為工作光源,由計算機控制二維工作臺,能按輸入的圖形做各種運動。輸出功率大,劃片精度高,速度快,可進(jìn)行曲線及直線圖形切割。
傳統(tǒng)硅片切割方式是機械切割,速度慢、斷面平整性差、碎片多、不環(huán)保。硅是一種脆性材料,機械切割極易使邊緣產(chǎn)生破裂,造成硅表面彈性應(yīng)變區(qū)、位錯網(wǎng)絡(luò)區(qū)和碎晶區(qū)的組成層損傷,甚至可能造成***裂紋,影響電性參數(shù)等危害。激光切割技術(shù)具有無接觸、無機械應(yīng)力、切縫寬度小、斷面平整光滑、精度高、速度快、***等***;不會損傷硅片結(jié)構(gòu),電性參數(shù)要優(yōu)于傳統(tǒng)的機械切割方式,可應(yīng)用于大面積電池片進(jìn)行劃線切割,做到***控制切割精度及厚度,進(jìn)一步減少切割碎屑,提高電池利用率。
華諾激光專注于硅片晶圓微米級的激光***切割、鉆孔、刻線、劃片、材料去除、構(gòu)造、雕刻和特殊材料的加工,主要應(yīng)用于LED芯片制造,觸摸屏,LCD,消費類電子,半導(dǎo)體,MEMS,照明,醫(yī)療等行業(yè),以及科研、航天航空等領(lǐng)域,涉及包括各種金屬及合金、半導(dǎo)體、陶瓷、各種透明材質(zhì)、薄膜和聚合物等各種材料,公司已經(jīng)做過1000多個基于以上材料的各種激光微加工試驗和方案。
硅片激光切割工藝原理是利用高能激光束照射在工件表面,使被照射區(qū)域局部熔化、氣化、從而實現(xiàn)硅材料的切割。硅片切割機主要用于金屬材料及硅、鍺、砷化鎵和其他半導(dǎo)體襯底材料的劃片和切割,可加工太陽能電池板、硅片、陶瓷片、鋁箔片等,工件精細(xì)美觀,切邊光滑,可***提高加工效率和優(yōu)化加工效
梁工