海德漢公司的光學(xué)掃描光柵尺或編碼器的 測量基準(zhǔn)都是周期刻線－光柵。 這些光柵刻在玻璃或鋼材基體上。大長 度測量用的光柵尺帶的基體為鋼帶。 海德漢公司用以下特別開發(fā)的光刻工藝 制造精密光柵。 • AURODUR：在鍍金鋼帶上蝕刻線條， 典型柵距40 µm • METALLUR：抗污染的鍍金層金屬線， 典型柵距20 µm • DIADUR：玻璃基體的超硬鉻線（典型柵 距20 µm）或玻璃基體的三維鉻線格柵 （典型柵距8 µm） • SUPRADUR相位光柵：光學(xué)三維平面格 柵線條；*抗污能力；典型柵距不超 過8 µm • OPTODUR相位光柵：光學(xué)三維平面格柵 線條，超高反光性能，典型柵距不超過 2 µm 這種方法除了能刻制柵距非常小的光柵 外，而且刻制的光柵線條邊緣清晰、均 勻。再加上光電掃描法，這些邊緣清晰 的刻線是輸出高質(zhì)量信號的關(guān)鍵。 母版光柵采用海德漢公司定制的

測量法是指編碼器通電時就立即提供 位置值并隨時供后續(xù)信號處理電子電路讀 取。無需移動軸執(zhí)行參考點回零操作。絕 對位置信息來自光柵碼盤，它由一系列絕 對碼組成。單獨的增量刻軌信號用于在細 分后得到位置值，同時也生成供選用的增 量信號（與接口類型有關(guān)