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詳細介紹
ABL8000氣浮平臺
1專為有效負載大,負載重心偏離機架中心線的應用設計
2十字交叉結構,剛性穩(wěn)定性引人注目,幾何特性*
3所有軸全預加負載氣浮導軌(空氣軸承)
4行程達1米
5直線編碼器或激光干涉儀反饋
6可集成包括花崗巖的XY子系統(tǒng)
行程≤1000mm
精度±0.50um
重復定位精度±0.20um
直線度±0.40um
平面度±0.40um
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北京高控科技有限公司 |
| 參考價 | 面議 |
更新時間：2017-11-30 17:59:01瀏覽次數(shù)：723
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ABL8000氣浮平臺
1專為有效負載大,負載重心偏離機架中心線的應用設計
2十字交叉結構,剛性穩(wěn)定性引人注目,幾何特性*
3所有軸全預加負載氣浮導軌(空氣軸承)
4行程達1米
5直線編碼器或激光干涉儀反饋
6可集成包括花崗巖的XY子系統(tǒng)
行程≤1000mm
精度±0.50um
重復定位精度±0.20um
直線度±0.40um
平面度±0.40um
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