特點：
1.     結(jié)合了光學(xué)測量與探針測量的所有優(yōu)點
2.     專業(yè)的SPIP分析軟件
3.     適應(yīng)各種應(yīng)用領(lǐng)域，無論是大范圍掃描還是高精度掃描
 
主要功能及應(yīng)用：
多種測量功能
精確定量的面積（空隙率，缺陷密度，磨損輪廓截面積等）、體積（孔深，點蝕，圖案化表面，材料表面磨損體積以及球狀和環(huán)狀工件表面磨損體積等）、臺階高度、線與面粗糙度,透明膜厚、薄膜曲率半徑以及其它幾何參數(shù)等測量數(shù)據(jù)。
薄/厚膜材料
薄/厚膜沉積后測量其表面粗糙度和臺階高度,表面結(jié)構(gòu)形貌, 例如太陽能電池產(chǎn)品的銀導(dǎo)電膠線
蝕刻溝槽深度，光刻膠/軟膜
亞微米針尖半徑選件和埃級別高度靈敏度結(jié)合，可測量溝槽深度形貌。
材料表面粗糙度、波紋度和臺階高度特性
分析軟件可輕易計算40多種的表面參數(shù)，包括表面粗糙度和波紋度。計算涵蓋二維或三維掃描模式。