DektakXT 臺階儀（探針式表面輪廓儀）是一項創(chuàng)新性的設(shè)計，可以提供更高的重復(fù)性和分辨率，測量重復(fù)性可以達(dá)到5?。臺階儀這項性能的提高達(dá)到了過去四十年Dektak技術(shù)創(chuàng)新的，更加鞏固了其行業(yè)地位。不論應(yīng)用于研發(fā)還是產(chǎn)品測量，通過在研究工作中的廣泛使用，DektakXT一定能夠做到功能更強(qiáng)大，操作更簡易，檢測過程和數(shù)據(jù)采集更完善。第十代DektakXT臺階儀（探針式表面輪廓儀）的技術(shù)突破

DektakXT *設(shè)計

探針系統(tǒng)的評價體系受三個因素影響：能否重復(fù)測量，數(shù)據(jù)采集和分析速度快慢，操作的難易程度。這些因素直接影響了數(shù)據(jù)的質(zhì)量和操作效率。DektakXT利用全新結(jié)構(gòu)和和*軟件來實現(xiàn)可重復(fù)、時間短、易操作這三個必要因素，達(dá)到*的儀器使用效果。

強(qiáng)化操作的可重復(fù)性 Delivering Repeatable Measurements

DektakXT在設(shè)計上的幾個提高，使其在測量臺階高度重復(fù)性方面具有優(yōu)異的表現(xiàn)，臺階高度重復(fù)性可以到達(dá)5?.使用single-arch結(jié)構(gòu)比原先的懸臂梁設(shè)計更堅硬持久不易彎曲損壞，而且降低了周圍環(huán)境中聲音和震動噪音對測量信號的影響。同時，Bruker還對儀器的智能化電子器件進(jìn)行完善，提高其穩(wěn)定性，降低溫度變化對它的影響，并采用*的數(shù)據(jù)處理器。在控制器電路中使用這些靈敏的電子元器件,會把可能引起誤差的噪音降到zui低，DektakXT的系統(tǒng)因此可以更穩(wěn)定可靠的實現(xiàn)對高度小于10nm的臺階的掃描。Single-arch結(jié)構(gòu)和智能器件的聯(lián)用，大大降低了掃描臺的噪音，增強(qiáng)了穩(wěn)定性，使其成為一個競爭力的臺階儀（表面輪廓儀）。