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　　很多做精密設(shè)備的朋友大部分都不能清晰的區(qū)分精度/重復(fù)精度，反向誤差/系統(tǒng)偏差，等等這些方面的這個(gè)指標(biāo)的區(qū)別，更不清楚影響精密設(shè)備精度的原因和控制方法，甚至理所當(dāng)然的認(rèn)為裝了光柵尺或者磁珊尺，尺你的精度，就應(yīng)該是尺子的精度這些，等等這些都是不全面不客觀的這個(gè)觀點(diǎn)，針對(duì)這個(gè)情況呢小編在本文中做了分享。
　　一、首先定位精度A的概念是指運(yùn)動(dòng)的概念是指運(yùn)動(dòng)部件在運(yùn)動(dòng)終點(diǎn)，所達(dá)到的實(shí)際位置的精度與預(yù)期位置之間的這個(gè)誤差稱之為定位精度，比如呢要求在一個(gè)軸上面走10毫米，實(shí)際上他走了10.01毫米，多出來的這個(gè)0.01毫米就是定位精度。從激光干涉儀的指標(biāo)數(shù)據(jù)來看，紅色線外的這個(gè)曲線呢值與最小值的差，值就為定位精度，重復(fù)定位精度R，是指運(yùn)動(dòng)部件在多個(gè)國家GB標(biāo)準(zhǔn)是五次以上實(shí)際位置之間的這個(gè)的一個(gè)誤差，例如要求在一個(gè)軸上面重復(fù)走了10毫米，結(jié)果呢次找了10.01毫米第二次呢找了9.98毫米，第三次呢走了10.03毫米，實(shí)際的位置的的位置的差距是0.05毫米，那這個(gè)數(shù)據(jù)呢就是重復(fù)定位精度。　　二、從激光干涉儀的數(shù)據(jù)上面來分析就是除平均線紅色線外，與最小值的差值啊為重復(fù)定位精度，反向誤差B是指伺服電機(jī)或者直線電機(jī)等，或者運(yùn)動(dòng)平合，正向運(yùn)動(dòng)之后突然變成反向運(yùn)動(dòng)之后，反向相反的時(shí)候呢在一定的角度內(nèi)，盡管呢電機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)但是呢傳統(tǒng)的這個(gè)傳統(tǒng)鏈還要等間隙消除之后，尤其是受力一側(cè)，以后才能帶動(dòng)工作合的這個(gè)運(yùn)動(dòng)，這個(gè)間隙呢就是反向誤差，比如呢伺服電機(jī)上輸入1萬個(gè)脈沖，運(yùn)動(dòng)的部件呢走了1毫米，再輸入10000個(gè)脈沖，讓運(yùn)動(dòng)部件反向走1毫米，但是由于滾珠絲桿存在一定的間隙，因此有部分的脈沖是用于電機(jī)空轉(zhuǎn)并未實(shí)際帶動(dòng)運(yùn)動(dòng)部件的這個(gè)運(yùn)動(dòng)，因此最后實(shí)際并沒走到1毫米，而這少走的距離就是反向誤差，在激光干涉儀曲線里面表現(xiàn)就是同一個(gè)位置兩條線平均線啊，紅色曲線的這個(gè)差值為反向誤差的部分
　　三、平均反向誤差B，是指部件在運(yùn)動(dòng)過程中回程的每一個(gè)位置，都會(huì)產(chǎn)生反向間隙，每一個(gè)位置的反向間隙值在除以點(diǎn)數(shù)即平均值為平均反向間誤差
　　四、系統(tǒng)偏差E，是指在重復(fù)性條件下對(duì)同一個(gè)被測(cè)進(jìn)行無阻多次的測(cè)量結(jié)果的平均值，減去被測(cè)值的這個(gè)真值，在激光干涉儀測(cè)量曲線中的表現(xiàn)就是例如，在同一個(gè)軸上運(yùn)動(dòng)部件重復(fù)走兩個(gè)來回去層和分層分別算出平均值，即下圈的這個(gè)紅線，這個(gè)兩個(gè)平均值的誤差就是系統(tǒng)的偏差。
　　五、單向系統(tǒng)和這個(gè)是指的同一個(gè)方向在重復(fù)性條件下對(duì)同一個(gè)被測(cè)量這個(gè)軸進(jìn)行無阻多次測(cè)量結(jié)果的平均值，減去被測(cè)量的這個(gè)真值，在激光干涉儀的曲線的數(shù)據(jù)表現(xiàn)是同一個(gè)方向，值與最小值的差距就是單項(xiàng)系統(tǒng)偏差
　　六、單項(xiàng)重復(fù)性R+ R- ，同一個(gè)方向運(yùn)動(dòng)部件在多次啊國家標(biāo)準(zhǔn)五次以上，運(yùn)動(dòng)到同一個(gè)終點(diǎn)所達(dá)到的實(shí)際的位置之間的誤差，在干涉儀曲線同一個(gè)方向，同一個(gè)位置值和最小值的差，值為單向重復(fù)性
　　七、單向精度
　　同一個(gè)方向，運(yùn)動(dòng)部件在運(yùn)動(dòng)終點(diǎn)所達(dá)到的實(shí)際位置的精度，實(shí)際位置與預(yù)期位置之間的誤差稱為定位誤差，在激光干涉儀里面表現(xiàn)的數(shù)據(jù)是同一個(gè)方向平均線，紅色曲線外的曲線的值與最小值的差值為精度