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詳細(xì)介紹
采用*的磁流體密封技術(shù)，具有噪音小、振動小、運行平穩(wěn)、精度高等特點。帶有安全區(qū)配置功能和靈敏的碰撞保護功能，有效保護機械手和客戶晶圓,減少用戶誤操作導(dǎo)致的各種損失。全新的軌跡規(guī)劃，提高運動節(jié)拍，提高了用戶產(chǎn)能.帶有大屏幕機器人示教器，方便調(diào)試人員使用。可以根據(jù)客戶應(yīng)用的特殊要求，定制手臂尺寸等。
參數(shù)：
型號 | SRBZ970C | |
密封方式 | 磁流體密封 | |
自由度數(shù) | 2 | |
負(fù)載 | 名稱 | 托盤 |
直徑 | Φ380mm | |
重量 | 2kg | |
運動范圍 | R軸（mm） | 立柱中心至R軸伸展處被搬運物體中心距離920 |
θ軸（°） | 360 | |
全行程最小時間 | R軸（s） | 2.5（Home to Extend 920mm） |
θ軸（s） | 4.8 (180°) | |
重復(fù)定位精度 | θ軸（°） | ±0.01（3σ） |
R軸（mm） | ±0.1（3σ） | |
重量 | 機械手本體 | 41kg |
控制器 | 15kg | |
耐真空度 (Pa) | ＜5×10-9 Torr | |
漏率 | ＜1×10-9 std.cc/sec He | |
碰撞保護 | 盤片和機械手無損傷 | |
行程 | 970mm | |
電源范圍 電壓波動范圍 | 單相交流208V +10%，-15% | |
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