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詳細(xì)介紹
Titan1500C作為LED芯片制造領(lǐng)域的真空機械手產(chǎn)品，大負(fù)載真空機械手主要用于LED芯片制造過程中，實現(xiàn)裝有大量LED晶圓的托盤在各個工藝腔室間的傳送，具有真空度高，傳輸效率高，負(fù)載能力強，耐高溫等特點，大大提高了LED芯片生產(chǎn)制造的良率和效率，是LED芯片制造裝備的關(guān)鍵產(chǎn)品。本產(chǎn)品在集成電路制造用真空機械手的基礎(chǔ)上，針對其大負(fù)載需求，創(chuàng)新了其傳輸結(jié)構(gòu)和控制規(guī)律，使其能夠達到12kg的負(fù)載能力，同時保持很小的占用體積，保持高耐真空度及潔凈等級。
參數(shù)：
結(jié)構(gòu)形式Mechanical Structure | 柱坐標(biāo)型/SCARA型 Cylindrical Coordinate/SCARA | |
驅(qū)動方式Driving method | 伺服電機Servo Motor | |
手?jǐn)?shù)量Number of Arm | 單臂Single Arm | |
負(fù)載Payload | 名稱Name | 托盤Tray |
直徑Diameter | Φ716mm | |
重量Weight | ≤12kg | |
自由度數(shù)DOF | 3 | |
手臂長度Arm Length | 355mm | |
手指長度（安裝中心至硅片中心） Finger length(distance from install center to wafer center) | 810mm | |
運動范圍 Moving Range | R軸R-axis | ≤1500mm |
θ軸θ-axis | 無限回轉(zhuǎn)Infinite Rotation | |
Z軸Z-axis | 150mm | |
全行程最小時間 Swap time | R軸R-axis | ＜27.8s（Home to Extend 1500mm） |
θ軸θ-axis | ＜15s(180°) | |
Z軸Z-axis | 13s（150mm） | |
重復(fù)定位精度Repeatability | R軸R-axis | ±0.2mm(3σ) |
θ軸θ-axis | ±0.2mm(3σ) | |
Z軸Z-axis | ±0.2mm(3σ) | |
最小回轉(zhuǎn)半徑Robot Clearance Radius | 762.5mm | |
下垂量Deflection | 5mm | |
真空度 Vacuum level | ＜5×10-9 Torr | |
漏率Leak Rate | ＜1×10-9 std.cc/sec He | |
電源Electrical | 208VAC(50Hz/60Hz) | |
電源范圍 電壓波動范圍 | 單相交流208V +10%，-15% | |
通信接口Communication Network | Ethernet | |
重量Drive body+arm set weight | 195kg | |
行程 | 1500mm | |
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