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詳細介紹
大氣機械手廣泛用于硅晶圓以及LED藍寶石基片搬運。手臂采用*的結(jié)構(gòu)加強了手臂的剛性，并有效抑制振動，輕量化設(shè)計滿足高速要求。本體的制造工藝改進有效降低成本，提升市場競爭力。材料、加工以及表面處理多方面優(yōu)選，以實現(xiàn)高潔凈度。具有多重安全保護功能。肘部和腕部靈活控制，使得機器人可以采用任意姿勢來取放晶圓，更節(jié)省空間，適應(yīng)性更強。是半導(dǎo)體行業(yè)的優(yōu)勢之選。
參數(shù)：
結(jié)構(gòu)形式Mechanical Structure | 柱坐標型/SCARA型 Cylindrical Coordinate/SCARA | |
負載Payload | 名稱name | 晶圓wafer |
直徑diameter | Φ200mm/Φ300mm | |
重量weight | ≤0.5kg | |
自由度數(shù)DOF | 3 | |
回轉(zhuǎn)直徑Maximum Swing diameter | 505mm | |
運動范圍 Moving Range | 升降軸 (Z軸) Up/Down(Z)-Axis | 960mm |
回轉(zhuǎn)軸 (T軸) Rotational(T)-Axis | 340° | |
伸展軸 (R軸) Extension(R)-Axis | 645mm | |
速度 Maximum Moving Speed | 升降軸 (Z軸) Up/Down( Z)-Axis | 400mm/s |
回轉(zhuǎn)軸 (T軸) Rotational(T)-Axis | 180°/s | |
伸展軸 (R軸) Extension(Z)-Axis | ＜0.8s（Home to Fullextension） | |
重復(fù)定位精度 Repeatability | 升降軸 (Z軸) Up/Down( Z)-Axis | ±0.1 mm(3σ) |
回轉(zhuǎn)軸 (T軸) Rotational(T)-Axis | ±0.01°(3σ) | |
伸展軸 (R軸) Extension(Z)-Axis | ±0.1 mm(3σ) | |
潔凈度Clean Class | ISO CLASS 4 | |
主機重量Body Weight | 90 kg | |
電源Power Supply | VAC 220V±10% | |
行程 | 618mm | |
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