用于IC行業(yè)FOUP自動(dòng)化搬送、存儲(chǔ)，實(shí)現(xiàn)晶圓在曝光、刻蝕等核心工藝之間流轉(zhuǎn)。優(yōu)化結(jié)構(gòu)及氣流流場(chǎng)設(shè)計(jì)，可使?jié)崈舳冗_(dá)到ISO Class4等級(jí)要求；帶有豐富的安全設(shè)計(jì)和靈敏的碰撞保護(hù)功能，有效保護(hù)FOUP、晶圓、人身安全, 提高了產(chǎn)品的安全等級(jí),減少不必要的損失；全新的系統(tǒng)運(yùn)動(dòng)邏輯規(guī)劃，提高產(chǎn)品搬送效率；標(biāo)準(zhǔn)的SEMI軟件接口，可以方便對(duì)接面板廠MCS系統(tǒng)，可實(shí)時(shí)上報(bào)系統(tǒng)各種狀態(tài)數(shù)據(jù)，實(shí)現(xiàn)工廠智能管理；可以根據(jù)客戶應(yīng)用的特殊要求，定制設(shè)備功能及尺寸。