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詳細(xì)介紹
機(jī)械手本體采用多電機(jī)同軸結(jié)構(gòu)，動作更加靈活穩(wěn)定；高重復(fù)定位精度，并具備AWC自動糾偏功能，保證傳片精度；耐真空性，可勝任高真空環(huán)境下晶圓傳片需求。直驅(qū)電機(jī)結(jié)構(gòu)具有更高的真空特性，內(nèi)部結(jié)構(gòu)沒有齒輪，皮帶等部件，系統(tǒng)運行的平穩(wěn)性更好，可靠性更高。IO模塊具有更多的輸出輸入引腳，用戶可以根據(jù)需求配置成互鎖、傳感器檢測等功能。輸入信號支持硬件中斷功能，方便客戶配置AWC等位置鎖存功能應(yīng)用。帶有安全區(qū)配置功能和靈敏的碰撞保護(hù)功能，減少用戶誤操作導(dǎo)致的各種損失。帶有大屏幕機(jī)器人示教器，方便調(diào)試人員使用，并支持熱插拔功能。在此基礎(chǔ)上，Archer Q41采用雙手蝴蝶手形式，四手指結(jié)構(gòu)，雙取雙放，大大提高了晶圓傳片效率。Archer Q41/R41可以根據(jù)客戶應(yīng)用的特殊要求，定制手臂尺寸，Z軸行程，耐高溫耐腐蝕特性等。
參數(shù)：
本體重量Body Weight | 90KG |
適用晶圓尺寸Wafer Size | 300mm/200mm |
負(fù)載Payload | 1KG |
電源輸入Power Supply | AC電壓:208V AC頻率：50HZ/60HZ |
電源范圍 電壓波動范圍 | 單相交流208V +10%，-15% |
節(jié)拍Bear | 8.5s(Pick,Rotate180°,Place,根據(jù)手指材料，傳輸位置不同相關(guān)) |
動態(tài)偏差糾正精度(AWC) | ±0.1mm |
運動范圍 Range | R：994mm |
T：＞360° | |
Z：135mm | |
重復(fù)定位精度Repeatability | Z: ±0.05mm（3σ） |
T: ±0.003°（3σ） | |
R: ±0.05mm（3σ） | |
漏率Leak rate | < 5 x 10-9 std. cc/sec He |
真空度Base Pressure | 3X10-8Torr |
適用溫度 Applicable temperature | 法蘭:<90℃;本體:<50℃;手臂:<90℃ |
潔凈度Clean Class | ISO CLASS1 |
MCBF | >12.8million cycles |
通信接口Communications | Ethernet/串口serial interface |
IO互鎖IO interlock | 支持Support |
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