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詳細介紹
直驅(qū)電機結構具有更高的真空特性，內(nèi)部結構沒有齒輪，皮帶等部件，系統(tǒng)運行的平穩(wěn)性好，可靠性高。與PINUS B系列相比，將控制器集成到機械手本體之內(nèi)，大大縮減了整體尺寸，并且縮短了互聯(lián)線纜長度，可靠性得以提升。IO處理模塊，可以根據(jù)用戶需求配置輸入輸出數(shù)量，有效電平可以切換，用戶可以根據(jù)需求將輸出輸入引腳配置成互鎖、傳感器檢測等功能。輸入信號支持硬件中斷功能，方便客戶配置AWC等位置鎖存功能應用。碰撞保護功能可以減少用戶誤操作導致的各種損失。以示教器作為人機交互媒介，方便調(diào)試人員使用。可以根據(jù)客戶應用的特殊要求，定制手臂尺寸、耐高溫耐腐蝕特性等。
參數(shù)：
本體重量Body Weight | 50KG |
適用晶圓尺寸Wafer Size | 300mm/200mm/150mm/100mm |
負載Payload | 1KG |
電源輸入Power Supply | 24 V DC, ±5% |
節(jié)拍Bear | 10.5 s(Pick+Rotate180°+Place，與手指材料、傳輸位置相關) |
動態(tài)偏差糾正精度(AWC) | ±0.1mm |
重復定位精度Repeatability | Z: ±0.05mm（3σ） |
T: ±0.006°（3σ） | |
R: ±0.05mm（3σ） | |
漏率Leak rate | < 1 x 10-9 std. cc/sec He |
真空度Base Pressure | 5X10-9Torr |
適用溫度 Applicable temperature | 法蘭:<120℃;本體:<50℃;手臂:<120℃ |
潔凈度Clean Class | ISO CLASS1 |
MCBF | >11million cycles |
復合運動 Compound motion | 支持Support |
PC遠程操作軟件 | 支持Support |
通信接口Communications | Ethernet/串口serial interface |
IO互鎖IO interlock | 支持Support |
安全區(qū)Safe area | 支持Support |
碰撞保護 Collision protection | 支持Support |
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