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      真空泵是指利用機(jī)械、物理、化學(xué)或物理化學(xué)的方法對(duì)被抽容器進(jìn)行抽氣而獲得真空的器件或設(shè)備。通俗來(lái)講，真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產(chǎn)生和維持真空的裝置。它包括干式螺桿真空泵、水環(huán)泵、往復(fù)泵、滑閥泵、旋片泵、羅茨泵和擴(kuò)散泵等，這些泵是我國(guó)國(guó)民經(jīng)濟(jì)各行業(yè)應(yīng)用真空工藝過(guò)程中*的主力泵種。

     隨著真空應(yīng)用的發(fā)展，真空泵的種類(lèi)已發(fā)展了很多種，其抽速?gòu)拿棵肓泓c(diǎn)幾升到每秒幾十萬(wàn)、數(shù)百萬(wàn)升。且隨著真空技術(shù)在生產(chǎn)和科學(xué)研究領(lǐng)域中，對(duì)其應(yīng)用壓強(qiáng)范圍的要求越來(lái)越寬，大多都是需要由幾種真空泵組成真空抽氣系統(tǒng)共同抽氣后才能滿(mǎn)足生產(chǎn)和科學(xué)研究過(guò)程的要求。由于真空應(yīng)用部門(mén)所涉及的工作壓力的范圍很寬，因此任何一種類(lèi)型的真空泵都不可能*適用于所有的工作壓力范圍，只能根據(jù)不同的工作壓力范圍和不同的工作要求，使用不同類(lèi)型的真空泵。為了使用方便和各種真空工藝過(guò)程的需要，有時(shí)會(huì)通過(guò)將各種真空泵按其性能要求組合起來(lái)的方法，以機(jī)組型式應(yīng)用。伴隨著我國(guó)經(jīng)濟(jì)的快速發(fā)展，近幾年我國(guó)真空泵行業(yè)已經(jīng)實(shí)現(xiàn)了穩(wěn)定發(fā)展的模式。