詳細(xì)介紹
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技術(shù)參數(shù)
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Z軸(沿主軸)
- 行程: 350mm
- 直線度: 0.1μm/100mm
- 分辨率: 1nm
- 進(jìn)給速度: 20mm/s
X軸(垂直于主軸)
- 行程: 350mm
- 直線度: 0.1μm/100mm
- 分辨率: 1nm
- 進(jìn)給速度: 20mm/s
主軸(工件軸)
- 徑跳和端跳 : 0.05μm
- 主軸轉(zhuǎn)速: 0-4000rpm
C軸(選配)
- C軸轉(zhuǎn)速: 0-1000rpm
- 轉(zhuǎn)角定位精度: 5″
- 轉(zhuǎn)角重復(fù)性定位精度:2″
B軸(液體靜)(選配)
- 徑跳和端跳:<0.1μm
- 承載:200Kg
- 定位精度:±0.5″
砂輪軸(氣體靜壓)(選配)
- 徑跳和端跳:<0.1μm
- 徑跳和端跳:<0.1μm
機(jī)床配置
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- 采用超精密空氣靜壓主軸,無(wú)摩擦損耗,回轉(zhuǎn)精度高,可選配C軸功能
- 天然花崗巖基座,保證機(jī)床長(zhǎng)久穩(wěn)定性
- PMAC控制卡
- 主軸采用內(nèi)裝式電機(jī)+高精度編碼器
- 主軸軸端安裝有動(dòng)平衡盤和真空吸盤
- 超精密液體靜壓導(dǎo)軌,具有較好的剛性和阻尼性
- X/Z軸均采用直線電機(jī)驅(qū)動(dòng),全閉環(huán)控制