詳細(xì)介紹
機(jī)床設(shè)計(jì)特點(diǎn)
● PA開(kāi)放式操作系統(tǒng);
● 天然花崗巖基座,保證機(jī)床*穩(wěn)定性;
● 超精密高剛性空氣靜壓主軸;
● 超精密液體靜壓導(dǎo)軌,具有較好的剛性和阻尼性;
● X/Z軸均采用直線電機(jī)驅(qū)動(dòng),全閉環(huán)控制;
● 氣浮支承隔振系統(tǒng)zui大的減少外界振動(dòng)干擾;
主要技術(shù)指標(biāo):
(1)Z軸
zui大行程: 210mm
直線度: 0.2μm/100mm
定位精度 0.5μm±0.5μm×Lmm/100mm
重復(fù)定位精度: 0.3μm
分辨率: 10nm
zui大進(jìn)給速度: 20mm/s
(2)X軸
zui大行程: 210mm
直線度: 0.2μm/100mm
定位精度 0.5μm±0.5μm×Lmm/100mm
重復(fù)定位精度: 0.3μm
分辨率: 10nm
zui大進(jìn)給速度: 20mm/s
(3)C軸
高精度氣浮軸承回轉(zhuǎn)精度 0.1μm
轉(zhuǎn)速 0-3000rpm
轉(zhuǎn)角定位精度 30″
轉(zhuǎn)角重復(fù)性定位精度 10″