詳細(xì)介紹
confocalDT IFS2405光譜共焦原理傳感器
線性量程 (mm): 0.300 | 1 | 3 | 10 | 30
線性度zui大 0.3 μm
分辨率zui大 0.01 μm
超小和穩(wěn)定的光斑尺寸
高精度測量,適用于鏡子和玻璃
納米級分辨率
單側(cè)厚度測量
confocalDT IFS2405光譜共焦原理傳感器用于超高精度要求的應(yīng)用。 傳感器采用了小型化設(shè)計(jì)。光譜共焦原理傳感器可以測量多種不同反射特性的被測表面,以及單側(cè)厚度測量