SuperViewW1-中圖國產(chǎn)白光干涉儀-深圳市中圖儀器股份有限公司

參考價	￥960000
訂貨量	1臺

產(chǎn)品簡介

產(chǎn)地	國產(chǎn)

SuperViewW1中圖國產(chǎn)白光干涉儀以白光干涉技術(shù)為原理，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量。可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

詳細介紹

性能參數(shù)

型號		W1
光源		白光LED
影像系統(tǒng)		1024×1024
干涉物鏡		標配:10× 選配:2.5×、5×、20×、50×、100×
光學ZOOM		標配:0.5× 選配:0.375×、0.75×、1×
標準視場		0.98×0.98㎜（10×物鏡，光學ZOOM 0.5×）
XY位移平臺	尺寸	320×200㎜
	移動范圍	140×100㎜
	負載	10kg
	控制方式	電動
Z軸聚焦	行程	100㎜
	控制方式	電動
形貌重復性		0.1nm
粗糙度RMS重復性		0.005nm
臺階測量		準確度:0.3%;重復性:0.08%(1σ)
可測樣品反射率		0.05%~100
主機尺寸		700×606×920㎜

產(chǎn)品功能

1）設備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能；

2）測量中提供自動對焦、自動找條紋、自動調(diào)亮度等自動化輔助功能；

3）測量中提供自動拼接測量、定位自動多區(qū)域測量功能；

4）分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能；

5）分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能；

6）分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。

薄膜粗糙度測量.jpg

薄膜粗糙度測量

超光滑透鏡測量.jpg

超光滑透鏡測量

應用領域

對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

SuperViewW1中圖國產(chǎn)白光干涉儀對各種精密器件表面進行納米級測量，通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌，專用于精密零部件之重點部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。它具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點，測量單個精細器件的過程用時2分鐘以內(nèi)，確保了高款率檢測。白光干涉儀的特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量。