中圖儀器SuperViewW1光學(xué)粗糙度輪廓檢測儀是解決形狀測量及表面粗糙度測量的光學(xué)儀器設(shè)備，集成X、Y、Z三個方向位移調(diào)整功能的操縱手柄，可快速完成載物臺平移、Z向聚焦、找條紋等測量前工作。除初級的軟件ZSTOP設(shè)置Z向位移下限位進(jìn)行防撞保護(hù)外，另在Z軸上設(shè)計有機械電子傳感器，當(dāng)鏡頭觸碰到樣品表面時，儀器自動進(jìn)入緊急停止?fàn)顟B(tài)，保護(hù)儀器，降低人為操作風(fēng)險。

超精密加工

性能參數(shù)

結(jié)果組成：
1、三維表面結(jié)構(gòu)：粗糙度，波紋度，表面結(jié)構(gòu)，缺陷分析，晶粒分析等；
2、二維圖像分析：距離，半徑，斜坡，格子圖，輪廓線等；
3、表界面測量：透明表面形貌，薄膜厚度，透明薄膜下的表面；
4、薄膜和厚膜的臺階高度測量；
5、劃痕形貌，摩擦磨損深度、寬度和體積定量測量；
6、微電子表面分析和MEMS表征。

產(chǎn)品特點
1、非接觸式測量：避免物件受損。
2、三維表面測量：表面高度測量范圍為1nm-10mm。
3、多重視野鏡片：方便物鏡的快速切換。
4、納米級分辨率：垂直分辨率可以達(dá)到0.1nm。
5、高速數(shù)字信號處理器：實現(xiàn)測量僅需要幾秒鐘。
6、掃描儀：采用閉環(huán)控制系統(tǒng)。
7、工作臺：氣動裝置、抗震、抗壓。
8、測量軟件：基于windows操作系統(tǒng)的用戶界面，強大而快速的運算。

主要應(yīng)用領(lǐng)域
1、用于太陽能電池測量；
2、用于半導(dǎo)體晶圓測量；
3、用于鍍膜玻璃的平整度（Flatness)測量；
4、用于機械部件的計量；
5、用于塑料，金屬和其他復(fù)合型材料工件的測量。

SuperViewW1光學(xué)粗糙度輪廓檢測儀讓輪廓測量價格更為實惠，分辨率0.1μm，重復(fù)性0.1%，應(yīng)用領(lǐng)域廣泛，操作簡便，可自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數(shù)。適用于各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、彎曲變形情況、磨損情況、腐蝕情況、粗糙度、孔隙間隙、表面缺陷、波紋度、臺階高度、面形輪廓、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。能夠做到在線監(jiān)測、數(shù)據(jù)分析、超差報警、數(shù)據(jù)存儲等，協(xié)助監(jiān)測人員及時發(fā)現(xiàn)缺陷產(chǎn)生的原因。能有效監(jiān)控相關(guān)設(shè)備的性能，實現(xiàn)表面質(zhì)量判定自動化，減少了因表面缺陷而引起的損失。