1D激光主要可以測量定位誤差

　　3D激光可以測量定位誤差、直線度誤差(雙向)

　　5D/6D激光可以測量定位誤差、直線度誤差(雙向)、偏擺角、俯仰角和滾動角

　　技術(shù)參數(shù)：

　　5D/6D標(biāo)準(zhǔn)型：

　　1. 線性：0.5ppm .

　　2. 測量范圍：40米(1D可選80米)

　　3. 線性分辨力：0.001um.

　　4. 偏擺角和俯仰角的精度：(1.0+0.1/m)角秒或1%顯示較大值

　　5. 范圍：800角秒

　　6. 滾動角精度：1.0角秒

　　7. 直線度精度：(1.0+0.2/m)um或1%顯示較大值

　　8. 直線度范圍：500um

　　9. 垂直度精度：1角秒

　　10. 溫度精度：0.2攝氏度

　　11.濕度精度：5%

　　12.壓力精度：1mmHg

　　主要特點：

　　1. 同時測量線性定位誤差、直線度誤差(雙軸)、偏擺角、俯仰角和滾動角

　　2. 設(shè)計用于安裝在機(jī)床主軸上的5D/6D傳感器

　　3. 可選的無線遙控傳感器zui長的控制距離可到25米

　　4. 可測量速度、加速度、振動等參數(shù)，并評估機(jī)床動態(tài)特性。

　　5. 全套系統(tǒng)重量僅15公斤，設(shè)計緊湊、體積，測量機(jī)床時不需三角架

　　6. 集成干涉鏡與激光器于一體，簡化了調(diào)整步驟，減少了調(diào)整時間

　　儀器介紹：

　　5D/6D激光干涉儀是API的產(chǎn)品，一次安裝能夠同時測量線性軸的六個誤差，包括1個位置度誤差、2個直線度誤差、3個角度誤差。在通常情況下需要數(shù)天時間進(jìn)行的測試，使用API激光干涉儀只需即可完成，實際應(yīng)用結(jié)果表明，節(jié)省時間可達(dá)80%。該儀器體積小，重量輕，可以直接安裝到機(jī)床導(dǎo)軌上。6D主要由穩(wěn)頻激光器、干涉儀和6維傳感器組成，從激光器發(fā)出的激光光束經(jīng)過干涉后，被6D傳感器內(nèi)的分光鏡分成三束，一束光經(jīng)錐角反射棱鏡反向后返回干涉儀與參考光束相干產(chǎn)生干涉條紋，經(jīng)光學(xué)相位探測器識別后進(jìn)行電子記數(shù)，記錄精確長度位移。第二束光用作直線度測量的參考光束，傳感器與參考光束之間的相對位移由裝在傳感器內(nèi)的橫向疚光電二級管測得。第三束光用作裝在6D傳感器內(nèi)的小型光電測角儀的參考光源，用來測量角度誤差(俯仰角和偏擺角)。為了保證激光光束的穩(wěn)定性，測量儀在結(jié)構(gòu)的設(shè)計以及激光器的選擇方面都做了仔細(xì)周密的考慮，以使測量儀的橫向和角度漂移量都降低到，從而保證測量儀的*穩(wěn)定性。測量儀配有自動氣壓、環(huán)境溫度補償器，自動校正環(huán)境變化對激光波長及長度測量的影響，測量儀還配有專門設(shè)計的多重數(shù)字濾波器，使由空氣波動及溫度梯度引起的測量誤差降到。