美國世偉洛克Swagelok 隔膜密封閥

■ 適合超高純度應用

■316L VIM-VAR 不銹鋼閥體

■低壓和高壓兩種閥型

■VCR®、卡套管對焊和模塊式表面安裝端接

■手動或氣動執(zhí)行機構(gòu)

■ 無填料, 全金屬殼體

■ 壓力從真空至 3500 psig (241 bar)

■ 溫度從 –73 至 121°C (–100 至 250°F)

■ 工作壓力高達 300 psig (20.6 bar)

■ 開關(guān)、散裝氣體分配以及隔離服務(wù)

■ 鑄造、鍛造及棒材不銹鋼閥體材料

■ 1/4 至 1 in.、12 至 25 mm 端接

■ 316L VAR 不銹鋼閥體

■ 工作壓力可達 300 psig (20.6 bar)

■ 1/4, 3/8 和 1/2 in. ；10 和 12 mm 端接

■氣動和四分之一圈手動 2 通和 3 通型；帶有流量可調(diào)和旁通功能的氣動型和手動型

■改進型 PTFE 潤濕部件和聚丙烯執(zhí)行機構(gòu)

■符合針對超高純系統(tǒng)組件的 SEMI 標準 F57- 0 3 01

■細牙螺紋擴口和 Nippon Pillar® Super 300 端接標準; 可提供 Flowell, 空間節(jié)約型和其它端接

■可提供定制閥組和組件

■ 高速執(zhí)行下的超高循環(huán)壽命

■ Cv 0.27 到 0.62

■ 耐熱執(zhí)行器、耐溫高達 200°C（392°F）

■ 電子執(zhí)行器位置傳感選購件

■ 適合采用 316L VIM-VAR 不銹鋼閥體的超高純應用場合

■ VCR®、卡套管對焊和模塊化表面安裝端接

描述：316L VIM-VAR ALD 閥，1/4 in. 內(nèi)螺紋 VCR, SC-01, NC 耐熱執(zhí)行器

規(guī)格摘要

機體材料316L VIM-VAR

連接1規(guī)格1/4 in.

連接1類型內(nèi)螺紋 VCR® 金屬墊片面密封接頭

連接2規(guī)格1/4 in.

連接2類型內(nèi)螺紋 VCR® 金屬墊片面密封接頭

清潔工藝超高純工藝規(guī)范 (SC-01)