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詳細(xì)介紹
型 號： FUNCTION 152010
行 程： X軸 1500 mm
Y軸 2000 mm
Z軸 1000 mm
結(jié)構(gòu)型式：活動橋式
傳動方式：直流伺服系統(tǒng) + 預(yù)載荷高精度空氣軸承
長度測量系統(tǒng)：RENISHAW開放式光柵尺，分辨率為0.5μm
機 臺：高精度花崗巖平臺
使用環(huán)境：溫度（20±2）℃，濕度55%-65% ，溫度梯度1℃/m，溫度變化 1℃/h
空氣壓力：0.4 MPa - 0.5 Mpa
空氣流量：180 L/min – 200 L/min
整機尺寸（LWH）：3.8 m X 2.7 m X 4.0 m
機臺承重：3000 kg ，整機重量：10000 Kg
空間測量精度：（10+L/300）μm*
備注：*項根據(jù)JJF1064-2000或者ISO10360-2來評定
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