詳細(xì)介紹
型 號: FUNCTION 786
行 程: X軸
Y軸
Z軸
結(jié)構(gòu)型式:移動橋式
傳動方式:直流伺服系統(tǒng)+ 預(yù)載荷高精度空氣軸承
長度測量系統(tǒng):RENISHAW開放式光柵尺,分辨率為0.5μm
機(jī) 臺:高精度花崗巖平臺
使用環(huán)境:溫度(20±2)℃,濕度55%-65% ,溫度梯度
空氣壓力:0.4 MPa - 0.5 Mpa
空氣流量:
整機(jī)尺寸(LWH):
機(jī)臺承重:
空間測量精度:(3+L/300)μm