詳細(xì)介紹
Function 系列
三軸導(dǎo)軌均采用高精密天然花崗巖,具有相同的溫度特性及剛性
三軸導(dǎo)軌均采用高精度自潔式空氣軸承,運(yùn)動(dòng)更平穩(wěn),導(dǎo)軌*受磨損
單邊驅(qū)動(dòng)活動(dòng)橋式結(jié)構(gòu),顯著提高運(yùn)動(dòng)性能,確保測(cè)量精度及穩(wěn)定性
Y軸采用整體燕尾式導(dǎo)軌,有效消除了運(yùn)動(dòng)扭擺,保證了測(cè)量精度及穩(wěn)定性
歐洲開(kāi)放式金屬光柵尺,分辨率0.4 um
控制系統(tǒng)采用歐洲高速高精度自動(dòng)控制系統(tǒng),該系統(tǒng)內(nèi)嵌32位微處理器,真正實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)控制
三軸均采用大功率驅(qū)動(dòng)器、電機(jī)及雙級(jí)減速裝置,確保傳動(dòng)迅速、準(zhǔn)確
三軸導(dǎo)軌均采用高精度自潔式空氣軸承,運(yùn)動(dòng)更平穩(wěn),導(dǎo)軌*受磨損
單邊驅(qū)動(dòng)活動(dòng)橋式結(jié)構(gòu),顯著提高運(yùn)動(dòng)性能,確保測(cè)量精度及穩(wěn)定性
Y軸采用整體燕尾式導(dǎo)軌,有效消除了運(yùn)動(dòng)扭擺,保證了測(cè)量精度及穩(wěn)定性
歐洲開(kāi)放式金屬光柵尺,分辨率0.4 um
控制系統(tǒng)采用歐洲高速高精度自動(dòng)控制系統(tǒng),該系統(tǒng)內(nèi)嵌32位微處理器,真正實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)控制
三軸均采用大功率驅(qū)動(dòng)器、電機(jī)及雙級(jí)減速裝置,確保傳動(dòng)迅速、準(zhǔn)確
| 800 | 1000 | |||
機(jī)器型號(hào) | F10128 | F121510 | F122010 | F122510 | F123010 |
行程 | 1000 | 1200 | 1200 | 1200 | 1200 |
1200 | 1500 | 2000 | 2500 | 3000 | |
800 | 1000 | 1000 | 1000 | 1000 | |
外形尺寸 | 2370 | 2820 | 3320 | 3820 | 4320 |
1694 | 1980 | 2100 | 2100 | 2100 | |
3150 | 3460 | 3750 | 3750 | 3750 | |
承重 | 1200 | 2000 | 2000 | 2000 | 2000 |
機(jī)器重量 | 4000 | 5300 | 8500 | 10500 | 12500 |
MPEe(μm) | 4 +L/300 | 5 +L/300 | 5 +L/300 | 7 +L/300 | 7 +L/300 |
MPEp(μm) | 4.5 | 5.5 | 5.5 | 5.5 | 5.5 |
光柵尺分辨率(μm) | 0.4 | 0.4 | 0.4 | 0.4 | 0.4 |
空間移動(dòng)速度(mm/s) | 200 | 200 | 200 | 200 | 200 |
空間移動(dòng)加速度(mm/S2) | 450 | 450 | 450 | 450 | 450 |
流量/供氣壓力(μm) | 150 NI/min. 0.45Mp | 150 NI/min. 0.45Mp | 150 NI/min. 0.45Mp | 150 NI/min. 0.45Mp | 150 NI/min. 0.45Mp |
溫度 | 20±2℃ | 20±2℃ | 20±2℃ | 20±2℃ | 20±2℃ |
濕度 | 45%-75% | 45%-75% | 45%-75% | 45%-75% | 45%-75% |