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詳細介紹
- 特點及主要應用領域
氣體質量流量控制器（流量計）Mass gas flow controller（meter）縮寫為MFC(MFM)）是對氣體的質量流量進行精密測量和控制的設備。
S49 32/MT 質量流量控制器(流量計)特點：
☆耐壓高及適用于真空條件下工作。低壓降。工作壓力范圍寬，氣體流量不因溫度、壓力的變化而變化。
☆主體采用不銹鋼（316L）結構，氣密材料采用VITON®、聚四氟乙烯等。適用于各種耐腐蝕性氣體。
☆具有精度高、重復性好、響應速度快、軟啟動、工作穩(wěn)定可靠。
☆可任意位置安裝。電氣操作控制顯示，使用方便。易于與電氣系統(tǒng)或自動控制系統(tǒng)配合。
☆配合MT-60 系列流量積算儀，可對氣體的瞬時流量和累積流量進行精確計量。
S49 32/MT 質量流量控制器(流量計)主要應用領域：
半導體制造行業(yè)的氣體流量控制；
分析儀器設備的氣體計量與控制；
各種形式的真空鍍膜設備；
環(huán)境檢測與分析設備；
化工、石化、食品、冶金、光纖熔煉等行業(yè)氣體流量檢測和控制；
特種材料表面處理裝置與燃燒控制；
混氣配氣系統(tǒng)和泄露探測系統(tǒng)等。
2. S49系列質量流量控制器(流量計)型號
S49 32/MT 系列質量流量控制器(流量計)，S49為質量流量控制器(流量計)產(chǎn)品，32/MT為本公司此產(chǎn)品設計序列號。
質量流量計用于對氣體的質量流量精確測量計量；
質量流量控制器(流量計)不但具有質量流量計的測量計量功能，還具有自動控制氣體的質量流量功能。
型式批準證書：2011F215-11
執(zhí)行Q/CYHMT001-2011企業(yè)標準
許可證編號：京制01050063號
3.主要技術指標
質量流量控制器(流量計)流量出廠通常用氮氣(N2)標定。
質量流量單位為：mL/min（毫升/分鐘）；(SCCM行業(yè)標準)
L/min （升/分鐘）。 (SLM行業(yè)標準)
標準狀態(tài)為：溫度----273.15K（0℃）；
氣壓----101325Pa(760mmHg)
F.S(Full Scale):表示滿量程值
表1 S49 32/MT質量流量控制器(流量計)技術指標
編號 | 項目 | S49 32/MT |
1 | 流量規(guī)格 | （5,10,30,50,100,200,300,500）mL/min （1,2,3,5,10）L/min |
2 | 調(diào)節(jié)閥類型 | 電磁調(diào)節(jié)閥 |
3 | 調(diào)節(jié)閥靜止狀態(tài) | 常閉 |
4 | 準確度 | ±1.5%F.S |
5 | 線性 | ±1.5%F.S |
6 | 重復精度 | ±0.2%F.S |
7 | 響應時間 | ≤8秒（T95） |
8 | 工作壓差范圍 | （50～300）kPa; （100～300）kPa(10L/min) |
9 | 耐壓 | 3MPa; 10MPa |
10 | 工作環(huán)境溫度 | （5～45）℃ |
11 | 材料 | 不銹鋼316L |
12 | 標準密封材料 | Viton®， EPDM， 或其他由用戶 |
13 | 漏率 | 1×10-8Pa.m3/s |
14 | 接頭 | Φ6mm～Φ10mm, 1/4″Swagelok。1/4″VCR。或其他由用戶 |
15 | 輸入輸出信號 | （0～＋5.00）V (輸入阻抗≥100KΩ,負載輸出電流能力≤3mA) |
16 | 供電電源 | ±15V（±5%）（＋15V 50mA, －15V 200mA） |
17 | 外形尺寸mm | 130（寬）×102（高）×28（厚） |
18 | 重量kg | 0．8 |
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