dektak xt 臺(tái)階儀 光學(xué)輪廓儀 華東總代理

第十代dektakxt臺(tái)階儀（探針式表面輪廓儀）
布魯克 dektakxt 臺(tái)階儀（探針式表面輪廓儀）是一項(xiàng)創(chuàng)新性的設(shè)計(jì)，可以提供的重現(xiàn)性，重現(xiàn)性低于5?。臺(tái)階儀這項(xiàng)性能的提高達(dá)到了過去四十年dektak技術(shù)創(chuàng)新的，更加鞏固了其行業(yè)地位。通過整合其行業(yè)產(chǎn)品，dektakxt實(shí)現(xiàn)了zui高性能。操作簡易，從研發(fā)到質(zhì)量控制都有更好的過程控制。整合了技術(shù)突破到第十代dektak臺(tái)階儀能夠在微電子，半導(dǎo)體，太陽能、超高亮度發(fā)光二極管（led）、醫(yī)學(xué)、材料科學(xué)等行業(yè)實(shí)現(xiàn)納米級(jí)表面形貌測(cè)量。

dektakxt
specifications規(guī)格
測(cè)量技術(shù) 探針輪廓技術(shù)
測(cè)量功能 二維表面輪廓測(cè)量
可選三維測(cè)量/
樣品視景 可選放大倍率, 1 to 4mm fov
探針傳感器 低慣量傳感器 （lis 3）
探針壓力 使用lis 3傳感器：1 至 15mg
低作用力（選配） 使用n-lite+低作用力傳感器：0.03至 15mg
探針選項(xiàng) 探針曲率半徑可選范圍： 50nm至25μm
高徑比 （har）針尖：10μm x 2μm和200μm x 20μm;
可按客戶要求定制針尖
樣品x/y載物臺(tái) 手動(dòng) x-y 平移：100mm （4 英寸）
機(jī)動(dòng)x-y 平移：150mm （6 英寸）
樣品旋轉(zhuǎn)臺(tái) 手動(dòng)，360°旋轉(zhuǎn);
機(jī)動(dòng)：360°旋轉(zhuǎn);
計(jì)算機(jī)系統(tǒng) 64-bit 多核并行處理器, windows? 7.0; optional 23英寸平板顯示器
軟件 vision64操作及分析軟件；
應(yīng)力測(cè)量軟件；懸臂偏轉(zhuǎn)；
縫合軟件；三維掃描成像軟件
減震裝置 減震裝置可用
掃描長度范圍 55mm （2英寸）
每次掃描數(shù)據(jù)點(diǎn) zui多可達(dá)120,000數(shù)據(jù)點(diǎn)
zui大樣品厚度 50mm （2英寸） zui大晶圓尺寸 200mm （8英寸）
臺(tái)階高度重現(xiàn)性 <5?, 1σ在1μm臺(tái)階上
垂直范圍 1mm （0.039英寸）
垂直分辨率 zui大1? （ 6.55μm垂直范圍下） 輸入電壓 100 – 240 vac, 50 – 60hz
溫度范圍 運(yùn)行范圍20 到 25°c （68到77°f）
濕度范圍 ≤ 80%, 無冷凝
系統(tǒng)尺寸及重量 455mm w x 550mm d x 370mm h （17.9in. w x 22.6in. d x 14.5in. h）; 34公斤（75磅）;
附件：550mm l x 585mm w x 445mm h （21.6in. l x 23in. w x 17.5in. h）; 21.7公斤（48磅）