測(cè)量系統(tǒng)和信號(hào)處理
KGM包括一個(gè)固定在基座上的圓晶形狀的二維柵格光柵和一個(gè)掃描頭。測(cè)量時(shí)，掃描頭非接觸地在格柵板上運(yùn)動(dòng)。對(duì)設(shè)置操作，將基座固定在工件夾持元件（例如加工中心的工作臺(tái)）上并對(duì)正。掃描頭固定在靜止不動(dòng)的夾刀元件（例如加工中心的主軸）上并大致對(duì)正。用一片隔膜將掃描間隙設(shè)置為0.5 ±0.05 mm。用掃描頭上的一組螺絲精細(xì)調(diào)整該間隙并借助ACCOM信號(hào)處理軟件改善測(cè)量信號(hào)質(zhì)量。

對(duì)相互垂直的兩軸，KGM輸出兩個(gè)90°相位差、4 µm信號(hào)周期信號(hào)。測(cè)量信號(hào)發(fā)給計(jì)算機(jī)進(jìn)行后續(xù)處理。 海德漢的EIB 741連接盒（以太網(wǎng)）和IK 220計(jì)數(shù)卡（PCI總線）用于連接KGM與計(jì)算機(jī)。 這兩種設(shè)備都能將正弦測(cè)量信號(hào)細(xì)分4096倍，使每軸的測(cè)量步距達(dá)到約1 nm。 海德漢公司的ACCOM軟件基于ISO 230-4標(biāo)準(zhǔn)處理測(cè)量值。 用ACCOM可以方便地為KGM對(duì)圓弧細(xì)分測(cè)試和自由形狀測(cè)試進(jìn)行編程。 ACCOM信號(hào)處理軟件提示用戶輸入所有必要參數(shù)信息并生成相應(yīng)NC程序，所生成的程序通過(guò)通信接口（串口或以太網(wǎng)或TCP/IP）可被立即裝入CNC數(shù)控系統(tǒng)中。