詳細(xì)介紹
2.研磨盤修整機(jī)構(gòu)采用油壓懸浮導(dǎo)軌前后往復(fù)運(yùn)動(dòng),金剛石修面刀給研磨盤的研磨面進(jìn)行精密修整,得到理想的平面效果。
硅片雙面研磨機(jī)特 點(diǎn):
1.系列研磨機(jī)工件加壓采用氣缸加壓的方式,壓力可調(diào);
2.系列研磨機(jī)采用PLC程控系統(tǒng),觸摸屏操作面板,研磨盤轉(zhuǎn)速與定時(shí)可直接在觸摸屏上輸入。
硅片雙面研磨機(jī)技術(shù)參數(shù):
型 號(hào) | YM-24LX-3Q | YM-30LX-3Q | YM-36LX-3Q | YM-48LX-3Q |
研磨盤(外徑×內(nèi)徑) | ¢610mm×¢210mm | ¢760mm×¢260mm | ¢910mm×¢310mm | ¢1220mm×¢400mm |
修正輪(外徑×內(nèi)徑) | ¢280mm×¢240mm,3個(gè) | ¢360mm×¢310mm,3個(gè) | ¢410mm×¢360mm,3個(gè) | ¢510mm×¢470mm,3個(gè) |
工件zui大加工尺寸 | ¢220mm, | ¢290mm | ¢333mm, | ¢430mm, |
工件加工平度 | 0.001 mm(¢220mm,) | 0.0015 mm(¢290mm) | 0.0015 mm(¢333mm,) | 0.002 mm(¢430mm,) |
主電機(jī)功率 | 2.2KW,380V,3相 | 3.7KW,380V,3相 | 7.5KW,380V,3相 | 11KW,380V,3相 |
研磨盤轉(zhuǎn)數(shù) | 0-80RPM | 0-80RPM | 0-60RPM | 0-40RPM |
加壓氣缸數(shù)量 | 3個(gè) | 3個(gè) | 3個(gè) | 3個(gè) |
氣缸zui大加壓 | 90kg | 130kg | 200kg | 300kg |
外形尺寸 | 1500mm×900mm×2100mm | 1500mm×900mm×2100mm | 1800mm×1500mm×2200mm | 2200mm×2000mm×2300mm |
設(shè)備重量 | 1300kg | 1400kg | 3000kg | 4500kg |
硅片雙面研磨機(jī)如有任何業(yè)務(wù)問題請(qǐng)登陸咨詢::;/;:;:;:吳 。