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近期國(guó)內(nèi)一家生產(chǎn)石英玻璃的公司在晨虹數(shù)控做了切割460x460mm石英玻璃切割實(shí)驗(yàn),做了斜面角度5.05°和3mm薄板切割,檢驗(yàn)結(jié)果如下:
切割順序是
- 先切割上面小邊為2mm,斜面角度為5.05°夾角整塊料;
- 第二刀切割上面塊3mm薄板;
- 第三刀切割下面第二塊3mm薄板;
- 自然形成下面斜度板料。
從上面切割順序可以知道:
刀切割時(shí)材料為整塊料,材料剛性好,切割后應(yīng)力釋放小,切割中變形小,故切割后平面度好,測(cè)量結(jié)果與材料剛性變形吻合,結(jié)果為:0.195mm。
第二刀切割3mm薄片:在半導(dǎo)體行業(yè)的業(yè)內(nèi)人員知道,切割晶體薄片時(shí)有翹曲度指標(biāo),因?yàn)槿嗽炀w在形成過(guò)程中存在內(nèi)應(yīng)力,想*消除很難。故此衡量切割質(zhì)量有翹曲度檢驗(yàn)指標(biāo),被切割材料厚度與表面積比越大,翹曲度越大。當(dāng)表面積過(guò)大而要求厚度較薄時(shí)在切割過(guò)程中隨著應(yīng)力的釋放,材料出現(xiàn)翹曲(彎曲),該翹曲的方向不可控!故在大面積超薄切割后表面積平面度下降非常明顯。
我公司該款機(jī)床采用我公司發(fā)明技術(shù):
切割效果如下圖:
注:3mm薄片沒(méi)有單獨(dú)拍照,因?yàn)椴牧铣叽巛^大,3mm太薄了,師傅切好后已經(jīng)把它小心放入箱內(nèi),材料較貴,不敢來(lái)回折騰,萬(wàn)一壞了賠不起。感興趣的客戶(hù)可以查看公司原來(lái)的技術(shù)文章。