真空預(yù)壓氣浮軸承

   new way 真空預(yù)壓氣浮軸承結(jié)合使用氣壓及真空，從導(dǎo)軌上浮起并同時(shí)吸附在導(dǎo)軌面上。可通過分別對真空及壓力進(jìn)行調(diào)節(jié)達(dá)到優(yōu)化真空預(yù)*承的浮動(dòng)高度及剛性的效果。

應(yīng)用簡單

 new way 使氣浮軸承的應(yīng)用變得十分簡單。柔性安裝支架帶來雙向剛性，底支點(diǎn)，及對new way的極小的角度調(diào)整。

     應(yīng)用

  1.晶圓定位

  2.晶圓探測（高速）

  3.晶圓凸點(diǎn)技術(shù)（高速）

  4.自動(dòng)光學(xué)檢測

  5.精確校對

  6.成像景深調(diào)節(jié)

  7.垂直度調(diào)節(jié)

  8.測試及修復(fù)

     市場

  1.半導(dǎo)體

  2.測試及測量

  3．光學(xué)

  4.平板印刷