電感測(cè)微儀是一種能夠測(cè)量微小尺寸變化的精密測(cè)量?jī)x器，它由主體和測(cè)頭兩部分組成，配上相應(yīng)的測(cè)量裝置（例如測(cè)量臺(tái)架等），能夠完成各種精密測(cè)量。
例如，檢查工件的厚度、內(nèi)徑、外徑、橢圓度、平行度、直線度、徑向跳動(dòng)等，被廣泛應(yīng)用于精密機(jī)械制造業(yè)、晶體管和集成電路制造業(yè)以及國(guó)防、科研、*的精密長(zhǎng)度測(cè)量。目前，國(guó)內(nèi)常用的電感測(cè)微儀有指針式和數(shù)字式兩種，存在的問(wèn)題較多，如高精度測(cè)量范圍小，零位調(diào)節(jié)不方便、功能單一和通用性差等。它通過(guò)編制軟件實(shí)現(xiàn)儀表的高精度、智能化、多功能化，經(jīng)過(guò)反復(fù)的實(shí)驗(yàn)與使用，已證明其精度高、操作方便、性能穩(wěn)定。

（1）測(cè)量范圍：0~±30μm檔及0~±500μm檔；　　（2）示值誤差：0~土30μm檔為0.1μm，0~±500μm檔為1μm；　　（3）分辨率：0~±30μm檔為0.01μm，0~±500m檔為0.1μm.　　（4）極性：當(dāng)測(cè)量值為負(fù)時(shí)，自動(dòng)顯示“-”；為正時(shí)，無(wú)極性符號(hào)。

該智能電感測(cè)微儀的硬件電路主要包括電感式傳感器、正弦波振蕩器、放大器、相敏檢波器及單片機(jī)系統(tǒng)。正弦波振蕩器為電感式傳感器和相敏檢波器提供了頻率和幅值穩(wěn)定的激勵(lì)電壓，正弦波振蕩器輸出的信號(hào)加到測(cè)量頭中由線圈和電位器組成的電感橋路上。工件的微小位移經(jīng)電感式傳感器的測(cè)頭帶動(dòng)兩線圈內(nèi)銜鐵移動(dòng)，使兩線圈內(nèi)的電感量發(fā)生相對(duì)的變化。當(dāng)銜鐵處于兩線圈的中間位置時(shí)，兩線圈的電感量相等，電橋平衡。當(dāng)測(cè)頭帶動(dòng)銜鐵上下移動(dòng)時(shí)，若上線圈的電感量增加，下線圈的電感量則減少；若上線圈的電感量減少，下線圈的電感量則增加。交流阻抗相應(yīng)地變化，電橋失去平衡從而輸出了一個(gè)幅值與位移成正比，頻率與振蕩器頻率相同，相位與位移方向相對(duì)應(yīng)的調(diào)制信號(hào)。此信號(hào)經(jīng)放大，由相敏檢波器鑒出極性，得到一個(gè)與銜鐵位移相對(duì)應(yīng)的直流電壓信號(hào)，經(jīng)A/D轉(zhuǎn)換器輸入到單片機(jī)，經(jīng)過(guò)數(shù)據(jù)處理進(jìn)行顯示、傳輸、_差報(bào)警、統(tǒng)計(jì)分析等。