ENISHAW激光干涉儀
雷尼紹公司的激光干涉儀和球桿儀測(cè)量系統(tǒng)用于評(píng)估、監(jiān)控并提高機(jī)床、坐標(biāo)測(cè)量機(jī) （CMM） 及其他位置精度要求關(guān)鍵的運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)的靜態(tài)和動(dòng)態(tài)性能。AGV小車用雷尼紹RENISHAW激光干涉儀
激光干涉儀采用安裝在外部的光學(xué)鏡組件實(shí)現(xiàn)高精度、可重復(fù)、可溯源的測(cè)量。
目前有兩款雷尼紹激光干涉儀系統(tǒng)在廣泛使用，一款是XL-80，另一款是被其替代的ML10。

AGV小車用雷尼紹RENISHAW激光干涉儀

機(jī)器測(cè)量方案。激光干涉儀和補(bǔ)償器均可通過USB與計(jì)算機(jī)連接，因此無需單獨(dú)的接口，也不必?fù)?dān)心復(fù)雜的設(shè)定。

XL-80系統(tǒng)便攜箱和三腳架

精度和動(dòng)態(tài)性能
精確穩(wěn)定的激光源和準(zhǔn)確的環(huán)境補(bǔ)償，保證了±0.5 ppm的線性測(cè)量精度。可以高達(dá)50 kHZ頻率讀取數(shù)據(jù)，zui高線性測(cè)量速度可達(dá)4 m/s，即使在zui高速度下線性分辨率仍可達(dá)1 nm。所有測(cè)量選項(xiàng)（不只是線性）均采用干涉法測(cè)量，使您對(duì)記錄數(shù)據(jù)的精度有信心。
XL-80激光干涉儀

AGV小車用雷尼紹RENISHAW激光干涉儀
XL-80激光裝置    XL-80激光頭可以產(chǎn)生非常穩(wěn)定的激光光束，采用的波長可溯源至國家和標(biāo)準(zhǔn)。
激光穩(wěn)頻精度 通過動(dòng)態(tài)熱控制技術(shù)將激光管長度變化控制在幾納米范圍內(nèi)，達(dá)到1年內(nèi)精度為±0.05 ppm，1小時(shí)內(nèi)精度為±0.02 ppm。
線性測(cè)量精度 在整個(gè)環(huán)境范圍內(nèi)，即從0 ºC - 40 ºC（32 ºF - 104 ºF）和650毫巴 - 1150毫巴的范圍內(nèi)，精度為±0.5 ppm。可以高達(dá)50 kHZ頻率讀取數(shù)據(jù)，zui高線性測(cè)量速度可達(dá)4 m/s，即使在zui高速度下線性分辨率仍可達(dá)1 nm。
儀器內(nèi)置的USB意味著激光系統(tǒng)與計(jì)算機(jī)之間無需單獨(dú)的接口。
激光頭前部的一排LED狀態(tài)指示燈顯示激光狀態(tài)和信號(hào)強(qiáng)度，相當(dāng)于將屏幕軟件上的“狀態(tài)顯示”擴(kuò)展到激光頭上。
可以在標(biāo)準(zhǔn) (40 m) 和長 (80 m) 距離模式之間切換
模擬I/O端口允許模擬信號(hào)輸出和觸發(fā)信號(hào)輸入。
預(yù)熱時(shí)間少于6分鐘。
外接開關(guān)電源允許輸入電壓在90V - 264 V之間變化。
上述所有特點(diǎn)使得XL-80的使用快捷方便。
二類激光安全標(biāo)簽根據(jù) (IEC) EN60825-1，雷尼紹XL-80激光干涉儀屬二類激光裝置，因而不需要佩戴護(hù)目鏡。在*操作本系統(tǒng)之前，請(qǐng)務(wù)必參閱系統(tǒng)手冊(cè)，詳細(xì)了解安全信息。
XC-80補(bǔ)償器和傳感器

AGV小車用
XC-80補(bǔ)償器XC-80補(bǔ)償器是XL系統(tǒng)線性測(cè)量精度的一個(gè)關(guān)鍵要素。補(bǔ)償器配備有“智能型傳感器”來處理原始環(huán)境參數(shù)，可非常準(zhǔn)確地測(cè)量空氣溫度、氣壓和相對(duì)濕度。這些條件的改變可能會(huì)影響激光波長和測(cè)量讀數(shù)。
XC-80使用傳感器讀數(shù)來修正激光波長的標(biāo)稱值，以給出在之后的計(jì)算中使用的真值，消除了由這些變化造成的任何測(cè)量誤差。
如果您注重精度，則需要進(jìn)行有效的波長補(bǔ)償。
XC-80的主要特性包括