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詳細介紹
圓柱硅片拋光機
主要用途：
該硅片拋光機主要適用用各種大尺寸硅片及晶體材料的拋光。
工作原理：
本系列由四個吸附盤吸附硅片與拋光盤做逆時針旋轉(zhuǎn)來達到拋光的目的。
特點：
1.本系列的吸附盤由四臺單獨的電機驅(qū)動、速度與壓力可調(diào)。
2.控制系統(tǒng)中采用PLC彩色終端等*技術(shù)，系統(tǒng)的響應速度更快、更精確，并具有遠程監(jiān)控，遠程維護的功能；
3.本系列運行平穩(wěn)，拋光后的產(chǎn)品厚度公差可控制在正負0.002mm范圍內(nèi)，粗糙度可達到0.0005mm。
設備規(guī)格：
| 型號 | YM-18A | YM-24A | YM-36A | YM-48A |
| 拋光盤規(guī)格 | φ460*φ140 | φ610*φ200 | φ910*φ300 | φ1220*φ400 |
| zui大拋光尺寸 | φ150mm | φ200mm | φ300mm | φ450mm |
| 拋光后平面度 | ±0.5u以內(nèi) | ±0.7u以內(nèi) | ±1u以內(nèi) | ±1u以內(nèi) |
| 工件平行度（25mm） | ±1u以內(nèi) | ±1.5u以內(nèi) | ±2u以內(nèi) | ±2u以內(nèi) |
| 工件粗糙度 | 0.4nm以內(nèi) | 0.4nm以內(nèi) | 0.4nm以內(nèi) | 0.4nm以內(nèi) |
| 拋光盤電機功率 | 2.2kw 3相380V | 3.7kw 3相380V | 7.7kw 3相380V | 11kw 3相380V |
| 拋光盤轉(zhuǎn)速 | 0~120rpm | 0~100rpm | 0~80rpm | 0~60rpm |
| 外形尺寸 | 700*1100*1100mm | 950*1200*2200mm | 1200*1400*2300mm | 1500*1700*2400mm |
| 重量 | 960kg | 1800kg | 2600kg | 4500kg |
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