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技術(shù)文章
電火花線切割內(nèi)圓切割技術(shù)的*性
閱讀：1637 發(fā)布時(shí)間：2015-1-28
內(nèi)圓切割利用內(nèi)圓刀片為切割刀具，以其內(nèi)圓作為刀口，其鑲上金剛石顆粒，一片一片進(jìn)行磨銷(xiāo)切割。內(nèi)圓切割品種變換簡(jiǎn)單方便，靈活，風(fēng)險(xiǎn)低，但是效率低，原料損耗大，硅片體形變大，加工參數(shù)一致性差。
中走絲線切割加工中同內(nèi)圓切割技術(shù)相比有其明顯的弱點(diǎn)，一是片厚平均誤差較大（約為內(nèi)圓切割技術(shù)2倍）。二是切割過(guò)程中智能檢測(cè)控制不易實(shí)現(xiàn)。三是切割過(guò)程的成功率要求較高，風(fēng)險(xiǎn)大，一但斷絲而不可挽救時(shí)，直接浪費(fèi)一根單晶棒。四是不能實(shí)現(xiàn)單片質(zhì)量控制，一次切割完成后，才能檢測(cè)一批圓片的切割質(zhì)量，并且圓片之間切割質(zhì)量也不相同。
在這些方面，電火花線切割內(nèi)圓切割技術(shù)卻顯示出其*性來(lái)。具體表現(xiàn)在：
1、自動(dòng)、單片方式切換操作方便性。
2、小批量多規(guī)格加工時(shí)靈活的加工可調(diào)性。
3、切片精度高，切片成本低，同規(guī)格級(jí)的內(nèi)圓切片機(jī)價(jià)格為線切割機(jī)價(jià)格1/3～1/4，線切割機(jī)還需配置粘料機(jī)，每片都可調(diào)整。
4、低成本的輔料（線切割機(jī)磨料及磨料液要定時(shí)更換）。
5、不同片厚所需較小的調(diào)整時(shí)間，不同棒徑所需較小的調(diào)整時(shí)間。
6、修刀、裝刀方便。八十年代中后期人們普遍認(rèn)為：隨著硅晶片大片徑化發(fā)展，線切割技術(shù)是硅片切割的主流技術(shù)，在規(guī)模化晶圓片切割中將取代內(nèi)圓切割技術(shù)。因此人們加大了對(duì)200mm以上線切割機(jī)的研究，以解決其技術(shù)不足。
中走絲線切割加工中同內(nèi)圓切割技術(shù)相比有其明顯的弱點(diǎn)，一是片厚平均誤差較大（約為內(nèi)圓切割技術(shù)2倍）。二是切割過(guò)程中智能檢測(cè)控制不易實(shí)現(xiàn)。三是切割過(guò)程的成功率要求較高，風(fēng)險(xiǎn)大，一但斷絲而不可挽救時(shí)，直接浪費(fèi)一根單晶棒。四是不能實(shí)現(xiàn)單片質(zhì)量控制，一次切割完成后，才能檢測(cè)一批圓片的切割質(zhì)量，并且圓片之間切割質(zhì)量也不相同。
在這些方面，電火花線切割內(nèi)圓切割技術(shù)卻顯示出其*性來(lái)。具體表現(xiàn)在：
1、自動(dòng)、單片方式切換操作方便性。
2、小批量多規(guī)格加工時(shí)靈活的加工可調(diào)性。
3、切片精度高，切片成本低，同規(guī)格級(jí)的內(nèi)圓切片機(jī)價(jià)格為線切割機(jī)價(jià)格1/3～1/4，線切割機(jī)還需配置粘料機(jī)，每片都可調(diào)整。
4、低成本的輔料（線切割機(jī)磨料及磨料液要定時(shí)更換）。
5、不同片厚所需較小的調(diào)整時(shí)間，不同棒徑所需較小的調(diào)整時(shí)間。
6、修刀、裝刀方便。八十年代中后期人們普遍認(rèn)為：隨著硅晶片大片徑化發(fā)展，線切割技術(shù)是硅片切割的主流技術(shù)，在規(guī)模化晶圓片切割中將取代內(nèi)圓切割技術(shù)。因此人們加大了對(duì)200mm以上線切割機(jī)的研究，以解決其技術(shù)不足。