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1. 放電間隙：放電間隙指加工時(shí)工具和工件之間產(chǎn)生火花放電的一層距離間隙。在加工過程中，則稱為加工間隙S，它的大小一般在0.01-0.5mm之間，粗加工時(shí)間隙較大，精加工時(shí)則較小。加工間隙又可分為端面間隙SF和側(cè)面間隙SL
2. 脈沖寬度ti（μs）：脈沖寬度簡(jiǎn)稱脈寬，它是加到工具和工件上放電間隙兩端的電壓脈沖的持續(xù)時(shí)間為了防止電弧燒傷，電火花加工只能用斷斷續(xù)續(xù)的脈沖電壓波。粗加工可用較大的脈寬ti>100μs，精加工時(shí)只能用較少的脈寬ti<50μs。
3. 脈沖間隔to(μs)：脈沖間隔簡(jiǎn)稱脈間或間隔，也稱脈沖停歇時(shí)間。它是兩個(gè)電壓脈沖之間的間隔時(shí)間。間隔時(shí)間過短，放電間隙來不及消電離和恢復(fù)絕緣，容易產(chǎn)生電弧放電，燒傷工具和工件；脈間選得過長(zhǎng)，將降低加工生產(chǎn)率。加工面積、加工深度較大時(shí)，脈間也應(yīng)稍大。?
4. 開路電壓或峰值電壓：開路電壓是間隙開路時(shí)電極間的zui高電壓，等于電源的直流電壓。峰值電壓高時(shí)，放電間隙大，生產(chǎn)率高，但成型復(fù)制精度稍差。
5. 火花維持電壓：火花維持電壓是每次火花擊穿后，在放電間隙上火花放電時(shí)的維持電壓，一般在25V左右，但它實(shí)際是一個(gè)高頻振蕩的電壓。電弧的維持電壓比火花的維持電壓低5V左右，高頻振蕩頻率很低，一般示波器上觀察不到高頻成分，觀察到的是一水平亮線。過渡電弧的維持電壓則介于火花和電弧之間。
6. 加工電壓或間隙平均電壓U（V）:加工電壓或間隙平均電壓是指加工時(shí)電壓表上指示的放電間隙兩端的平均電壓，它是多個(gè)開路電壓、火花放電維持電壓、短路和脈沖間隔等零電壓的平均值。在正常加工時(shí)，加工電壓在30-50V，它與占空比、預(yù)置進(jìn)給量等有關(guān)。占空比大、欠進(jìn)給、欠跟蹤、間隙偏開路，則加工電壓偏大；占空比小、過跟蹤或預(yù)置進(jìn)給量小（間隙偏短路），加工電壓即偏小。
7. 加工電流I（A）:加工電流是加工時(shí)電流表上指示的流過放電間隙的平均電流。精加工時(shí)小，粗加工時(shí)大；間隙偏開路時(shí)小，間隙合理或偏短路時(shí)則大。
8. 短路電流IS（A）:短路電流是放電間隙短路時(shí)（或人為短路時(shí)）電流表上指示的平均電流（因?yàn)槎搪窌r(shí)還有停歇時(shí)間內(nèi)無電流）。它比正常加工時(shí)的平均電流要大20-40%。
9. 峰值電流IS（A）:峰值電流是間隙火花放電時(shí)脈沖電流的zui大值（瞬時(shí)），日本、英國(guó)、美國(guó)常用IS表示，雖然峰值電流不易直接測(cè)量，但它是實(shí)際影響生產(chǎn)率、表面粗糙度等指標(biāo)的重要參數(shù)。在設(shè)計(jì)制造脈沖電源時(shí)，每一功率放大管串聯(lián)限流電阻后的峰值電流是預(yù)先選擇計(jì)算好的。為了安全，每個(gè)50W的大功率晶體管選定的峰值電流約為2-3A，電源說明書中也有說明，可以按此選定粗、中、精加工時(shí)的峰值電流（實(shí)際上是選定用幾個(gè)功率管進(jìn)行加工）。
10. 放電狀態(tài):放電狀態(tài)指電火花加工時(shí)放電間隙內(nèi)每一脈沖放電時(shí)的基本狀態(tài)。一般分為五種放電狀態(tài)和脈沖類型