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    高真空度等級適用型傳感器[GN系列]

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    更新時間:2021-02-26 17:01:51瀏覽次數(shù):369

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    產(chǎn)品簡介

    僅用低排氣零件生產(chǎn)的高真空環(huán)境定位傳感器。 在真空蒸鍍裝置、濺鍍裝置內(nèi)的晶片、掩膜定位用途中,廣泛為大型半導體生產(chǎn)設備制造商所采用。

    詳細介紹

    機型一覽

    代表型號名稱 動作形態(tài) 電線方向 下載
    GN-PT5M3A A : NO 直型
    產(chǎn)品目錄
    (PDF)

    2D CAD
    GN-PT5M3B B : NC
    GN-PT5M3A-R A : NO 直角(-R)
    GN-PT5M3B-R B : NC

    電氣規(guī)格| 選購件/使用注意事項| 技術指南

    主要規(guī)格

    接點構造接點型
    動作形態(tài)A : NO /B:NC
    動作點的重復精度ON?OFF均為0.003mm(范圍)常溫使用時的數(shù)值
    適用真空度/容許烘焙溫度10-5Pa / 120℃
    預行程 無(請用信號的切換點調整傳感器的安裝位置)
    遲滯 0
    機械壽命 300萬次
    行程 1.5mm
    接觸力 0.5N
    接點額定值 DC5V~DC24V 穩(wěn)態(tài)電流10mA以下(沖擊電流20mA以下)

    應用

    真空室

    檢測有無半導體晶片

    真空制膜裝置

    玻璃基板的定位確認

    太陽能發(fā)電(PV)真空裝置

    玻璃基板的定位確認

    FPD真空制膜裝置

    玻璃基板的對準

    FPD真空制膜裝置

    掩膜托盤的就位檢測

    FPD真空制膜裝置

    載體的起動確認

    對于采用的探討起關鍵作用,
    現(xiàn)在就可免費下載更加詳細的技術資料。

    符合客戶的使用用途「依據(jù)客戶量身定制,提供選擇」,
    式樣,尺寸,線路圖等等詳細資料可仔細閱讀。

    PDF產(chǎn)品的目錄可免費提供下載,請按這里

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