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詳解下硅片單面減薄設(shè)備的應(yīng)用
閱讀:333 發(fā)布時(shí)間:2022-7-5所述圓形固定板外側(cè)設(shè)有支撐在支架上的同心轉(zhuǎn)軸,所述同心轉(zhuǎn)軸應(yīng)用傳動(dòng)機(jī)構(gòu)與設(shè)于箱體外側(cè)的驅(qū)動(dòng)電機(jī)相連,所述箱體內(nèi)另設(shè)有加溫、降溫用的耐腐蝕循環(huán)水管。硅片減薄漂片機(jī),所述圓形固定板對(duì)應(yīng)四根提籃桿中的三根提籃桿位置設(shè)有圓形裝置孔,對(duì)應(yīng)余下的一根提籃桿位置設(shè)有U形裝置卡槽,以便于取放硅片。
硅片減薄漂片機(jī),所述支架上設(shè)有對(duì)應(yīng)同心轉(zhuǎn)軸的U形槽,所述同心轉(zhuǎn)軸支撐于U形槽的槽底,同時(shí)便當(dāng)放置旋轉(zhuǎn)提籃。硅片減薄漂片機(jī),所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)由設(shè)于同心轉(zhuǎn)軸上的從動(dòng)錐形齒輪、與從動(dòng)錐形齒輪嚙合的主動(dòng)錐形齒輪組成,所述主動(dòng)錐形齒輪應(yīng)用聯(lián)軸器與驅(qū)動(dòng)電機(jī)的輸出軸端部銜接,所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)倒置于箱體頂部。
硅片減薄漂片機(jī),所述耐腐蝕循環(huán)水管沿箱體內(nèi)壁蛇形排布。經(jīng)過旋轉(zhuǎn)提籃帶動(dòng)硅片在裝有酸液的箱體內(nèi)旋轉(zhuǎn),旋轉(zhuǎn)的同時(shí)完成減薄,關(guān)于原始硅片有效的控制了單片平均性、反復(fù)性和穩(wěn)定性,進(jìn)步了最終廢品率。
經(jīng)過設(shè)于箱體內(nèi)的加溫、降溫用的耐腐蝕循環(huán)水管,完成酸溫丈量、酸溫控制,防止了酸溫過高形成的浮膠現(xiàn)象,酸溫過低硅片腐蝕速度慢、漂片不平均,保證了腐蝕反響契合設(shè)計(jì)計(jì)算請(qǐng)求的腐蝕效率和平均性,由于提籃桿沿其長(zhǎng)度方向平均設(shè)有多個(gè)徑向環(huán)形槽,則可完成大量硅片的同時(shí)裝夾,完成硅片減薄的批量消費(fèi)。