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詳細(xì)介紹
激光調(diào)阻機(jī)解決方案
產(chǎn)品特點(diǎn)：調(diào)阻精度高
*的激光器提供了TEM00高光束質(zhì)量和極細(xì)線寬的激光束
四線制高速測量系統(tǒng)，測量時間僅為25us
擁有軟件預(yù)調(diào)誤差補(bǔ)償功能
調(diào)阻速度快
*的激光器擁有*的重復(fù)頻率，在保證光斑重疊率的情況下能擁有很高速度
德國進(jìn)口掃描振鏡，掃描速度極快
高精度分步重復(fù)機(jī)構(gòu)，空氣軸承，移動速度及加速度快
可靠性高
整機(jī)配置核心器件均采用*配置
采用花崗巖臺座，穩(wěn)定可靠
功能強(qiáng)大
擁有溫度實(shí)時補(bǔ)償功能
同時具有激光劃片和打標(biāo)功能
運(yùn)行及維護(hù)成本低廉
采用半導(dǎo)體端面泵浦或光纖激光器
使用壽命長，性能穩(wěn)定
電光轉(zhuǎn)換效率高，節(jié)約用電成本
采用風(fēng)冷系統(tǒng)，無須外置冷卻設(shè)備
操作簡單，無須高額培訓(xùn)成本
激光調(diào)阻機(jī)技術(shù)參數(shù)：
激光器系統(tǒng)
激光類型：半導(dǎo)體端面泵浦激光器 / 光纖激光器
激光波長：1064/532/355nm
激光平均功率：10W / 20W / 7W（UV355）
激光頻率：200Hz-50KHz
典型光斑尺寸：30µm
實(shí)際切口取決于材料、光學(xué)器件和波長；可根據(jù)需要選配532綠激光或355紫外激光zui小光斑達(dá)12µm
泵浦源使用壽命：20,000—100，000小時
冷卻方式：風(fēng)冷
對焦方式：計算機(jī)程序控制
激光束定位系統(tǒng)
激光束運(yùn)動范圍：75mmX75mm（可選配其他規(guī)格）
點(diǎn)到點(diǎn)運(yùn)動時間：5ms（典型）
zui大速度：7000mm/s
重復(fù)定位精度：2.5µm
激光束zui小步進(jìn)：0.76µm
圖像監(jiān)視系統(tǒng)
監(jiān)視方式：激光同軸監(jiān)視
zui大放大倍數(shù)：>100倍
圖像監(jiān)視顯示屏：19寸液晶
測量系統(tǒng)
激勵方式：電流/電壓激勵
恒流源：0.01µA~100mA計算機(jī)程控選擇
恒壓源：0~20V計算機(jī)程控選擇（可選其它電壓范圍）
電阻測量方式：四線制加電流測電壓
直流電壓測量：10mV~10V（滿程電壓）
調(diào)節(jié)對象發(fā)熱控制：程序可設(shè)定
電阻測量精度：低阻：<0.05%+1%/R （R<100Ω）
中阻：<0.05%
高阻：<0.05%+0.02%R（R>0.1MΩ）
電阻測量范圍：0.01Ω-500MΩ
電阻測量速度：25µs
直流電壓分辨率：0.16µV（在10mV滿量程條件下）
探針板：44針11組四線制（可選其它規(guī)格）
探針板運(yùn)動：計算機(jī)程序控制
計算機(jī)及軟件系統(tǒng)
工業(yè)控制計算機(jī)（雙核），17寸液晶
操作系統(tǒng)：Windows XP
VB平臺開發(fā)的可視化應(yīng)用軟件，界面友好，功能強(qiáng)大
分步重復(fù)運(yùn)動系統(tǒng)
運(yùn)動XY范圍：290x260mm
運(yùn)動分辨率：1µm
定位精度：小于6µm（帶誤差補(bǔ)償）
重復(fù)定位精度：小于3µm
zui大運(yùn)動速度：900mm/s
具有溫度補(bǔ)償?shù)裙δ?/span>
非接觸溫度測量
溫度測量精度：0.2℃
調(diào)阻溫度修正：計算機(jī)程序控制
其它技術(shù)指標(biāo)
供電電壓：220V AC
整機(jī)功耗：小于1000W
激光調(diào)阻機(jī)應(yīng)用和市場：
主要應(yīng)用于厚膜、薄膜電路的精密調(diào)節(jié)。廣泛應(yīng)用于
厚膜混合集成電路
電子元器件
汽車電器
傳感器
*科研
片式電阻等行業(yè)
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