產(chǎn)品功能

    對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、共面性、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、蝕刻情況、彎曲變形情況、加工情況、材料支撐率等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。被測物體的尺寸通常不大于150*100mm，更大尺寸的測量系統(tǒng)可以定做；工作臺zui大承載重量40Kg。

    產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于汽車工業(yè)、航空航天、造紙工業(yè)、鋼鐵工業(yè)、薄膜加工、半導(dǎo)體加工、MEMS等行業(yè)。

應(yīng)用范圍

* 機(jī)械密封的平面度和粗糙度測量；

* 電子元件表面的平面度、翹曲度和粗糙度測量分析；

* BGA焊料球的共面性、封裝是否變形以及所有的焊料球是否都存在的檢查分析；

* 造紙行業(yè)對紙張表面的紋理分析；

* 膜片的厚度及涂層的高度測量等；

* 化學(xué)蝕刻產(chǎn)品的蝕刻深度和面積測量；

* 壓花材料表面特征分析，如合成材料人造皮革表面形貌測量分析；

* 絲印裝置涂層厚度測量，如電子產(chǎn)品和生物科研等；

* 軋制鋁膜和鋼板表面情況進(jìn)行三維分析；

* 法醫(yī)學(xué)上三維表面形貌測量分析；

* 壓電陶瓷部件的輪廓和表面形貌特征測量分析；

* 牙齒的腐蝕和磨損情況分析；

* 醫(yī)學(xué)上如人造皮膚的輪廓分析；

* 溝槽深度和截面計算分析；

* 激光蝕刻表面的雕刻深度測量；

* 各種柔軟材料、易腐蝕材料、傳統(tǒng)接觸方式無法檢測的產(chǎn)品的表面形態(tài)測量和分析；

* 其他各種小型部件的平面度、粗糙度、波紋度和輪廓測量分析。

產(chǎn)品介紹

    英國Scantron Industrial Products Ltd公司生產(chǎn)的Proscan 2000光學(xué)式表面粗糙度輪廓形貌儀，采用非接觸式傳感器掃描技術(shù)，用于對各種產(chǎn)品和部件的表面形貌特征進(jìn)行測量和分析，它比傳統(tǒng)的探針式輪廓儀操作更方便，測量精度更高。由于采用非接觸無損的測量方式，避免了對被測物體造成劃痕和磨損，尤其適用于各種柔軟材料、易腐蝕材料和傳統(tǒng)方式無法檢測的表面形態(tài)測量和分析。

    Proscan 2000光學(xué)式表面粗糙度輪廓形貌儀zui大掃描速度可達(dá)到80mm/秒，每秒2000個數(shù)據(jù)點(diǎn)，每行可掃描20000個獨(dú)立的數(shù)據(jù)點(diǎn)，垂直測量分辨率zui高可達(dá)到5nm，zui小測量范圍0-110μm，zui大測量范圍0-50mm。

    Proscan 2000以花崗巖為工作平臺，是快速、精準(zhǔn)、非接觸式的三維表面形態(tài)測量儀器。廣泛應(yīng)用于各種表面輪廓和形貌特征精確測量分析的場合。高性能非接觸式光學(xué)傳感器掃面范圍是150mm（長）X100mm（寬），使用色差傳感器，每秒可測量1000個數(shù)據(jù)點(diǎn)，使用三角激光傳感器每秒可測量10000個數(shù)據(jù)點(diǎn)，對被測件平面的掃描點(diǎn)數(shù)zui多可達(dá)576萬個數(shù)據(jù)點(diǎn)。配套軟件可以對各種測量參數(shù)進(jìn)行分析。

產(chǎn)品特點(diǎn)

* 花崗巖框架結(jié)構(gòu)，受熱脹冷縮影響非常小，基本沒有振動。

* 配套軟件可以以二維或三維的方式對數(shù)據(jù)進(jìn)行形貌分析。

* 數(shù)據(jù)分析結(jié)果方便導(dǎo)出，導(dǎo)出格式有ASCII、ZZZZ...LF及XYZLF...CR’a’等。

* 數(shù)據(jù)分析也可選擇二維X-Y平面視圖，還具有三點(diǎn)平面修正和自動水平功能。

評定參數(shù)

Am               輪廓算術(shù)平均值

Ra               輪廓算術(shù)平均偏差

Rz（DIN）        峰谷高低平均值

Rz（ISO）        微觀不平度十點(diǎn)高度

Rmax             輪廓zui大高度

Rp               平均輪廓波峰高度

Rq               粗糙度均值平均方根

Rpm              峰值高度zui大值

Rvm              谷值深度zui大值

R3z              算術(shù)平均第三峰谷間高度

Wt               波形深度總值

Pt               輪廓深度總值

Nr               峰值計數(shù)歸一

Tpa              材料支撐率（宏）

D                峰值密度

S                輪廓單峰平均間距

Sm               輪廓微觀不平度平均間距

Lm               取樣長度

共面性

Warpage濾波器，過濾表面粗糙度數(shù)據(jù)，而僅保留輪廓數(shù)據(jù)

Surface濾波器，過濾表面輪廓數(shù)據(jù)，而僅保留粗糙度數(shù)據(jù)

對單點(diǎn)進(jìn)行編輯

在X和（或）Y軸上進(jìn)行插值

半徑計算

體積計算

表面積計算

截面積計算

三維輪廓顯示

技術(shù)規(guī)范

傳感器選型方案

各種可選項

* 照明與定位攝像頭，用于小型部件的定位和缺陷檢查；

* 其他各種傳感器；

* 仿制材料，用于對不容易進(jìn)入的區(qū)域和對表面測量有困難的場合；

* 比標(biāo)準(zhǔn)的X和Y行程范圍更大的測量平臺。 

產(chǎn)品尺寸圖

應(yīng)用舉例

一、電子元件的形貌檢查

電子元件的原貌

對單個BGA的掃描結(jié)果

    *檢測BGA（包括穴距）和倒裝芯片的包裝情況，自動分析共面性、球面高度、球的位置和包裝扭曲情況；分析絲焊高度和輪廓；亞微米級分辨率，三維圖形顯示平均、zui大和zui小深度。

二、部件表面粗糙度測量

被測部件原貌

掃描后的結(jié)果分析

    精確分析被測部件的表面紋理、波面度和形態(tài)特征，符合ISO和DIN的粗糙度參數(shù)分析標(biāo)準(zhǔn)，包括Ra、Rz、Rmax、Rq、Rvm、Rpm、Pt、Nr、D、Sm、Wt和Tpa等。可測量出平面度、表面積、體積、承載比和部件的精確尺寸。

三、紙張類表面的紋理分析

掃描前的產(chǎn)品原貌

掃描后的分析圖

    對板材類、紙張類產(chǎn)品的表面進(jìn)行紋理和形貌特征分析，自動計算各種表面分析的參數(shù)，如Ra、Rz、Rmax、Rvm、Rpm、Sm和材料比等，測量速度快，結(jié)果準(zhǔn)確，操作簡單。

視頻資料

索取。

樣本下載

光學(xué)式表面粗糙度輪廓形貌儀2000.pdf

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