技術(shù)參數(shù)：
◇ 行    程：                   
X軸:700 mm
Y軸:1000 mm
Z軸:600 mm
◇ 結(jié)構(gòu)型式：移動(dòng)橋式
◇ 傳動(dòng)方式：直流伺服系統(tǒng)+ 預(yù)載荷高精度空氣軸承
◇ 開放式光柵尺
◇ 機(jī)    臺(tái)：高精度花崗巖平臺(tái)
◇ 整機(jī)尺寸：950m m X1050m m X 2300m m
◇ 機(jī)臺(tái)承重：500kg ，整機(jī)重量：1250 Kg
◇ 長(zhǎng)度測(cè)量允許示值誤差：MPEE= 4.5+L/200
◇ 允許探測(cè)誤差(mm)： MPEP=4.5

環(huán)境條件要求：
◇ 測(cè)量機(jī)室溫度要求
測(cè)量機(jī)室的溫度: 18 - 22 °C
機(jī)器周圍環(huán)境的溫度梯度: 1 °C/h，2 °C/24h，1 °C/m

◇ 供氣系統(tǒng)
最小供氣壓力 : 0.5 Mpa
耗氣量: 120 L/min

◇ 供電系統(tǒng)
電壓: 220 V ± 10%
耗電量: 2000W
電流: 15 A
用電設(shè)備要求接地可靠：接地電阻小于4歐姆