詳細介紹
三、規(guī)格參數(shù):
坐標測量行程: X坐標:0—200mm Y坐標:0—100mm
方工作臺測量工作zui大高度: 140 mm
儀器zui大載重:40kg
X、Y坐標測量系統(tǒng):Renishaw精密光柵系統(tǒng),分辨率0.2μm
X、Y 坐標示值準確度:(1+L/100)μm L:被測長度,單位為mm
角度分度系統(tǒng):Renishaw精密環(huán)形光柵,分辨率5″
分度頭角度測量準確度:30″
顯微鏡立柱角度傾斜范圍:±12°
物鏡:
物鏡放大率 | 物鏡工作距離(㎜) | 屏幕圖象放大率 | 屏幕圖象范圍(㎜) |
1× | 82 | 40× | 1/2″≈5.2×4.1 |
1/3″≈4.1×3.1 | |||
3× | 70 | 120× | 1/2″≈1.7×1.4 |
1/3″≈1.4×1.0 | |||
5× | 49 | 200× | 1/2″≈1.0×0.8 |
1/3″≈0.8×0.6 |
目鏡:目視及CCD兩用系統(tǒng)
攝像系統(tǒng)高分辨率工業(yè)CCD:日立1/3″黑白(或彩色)象素數(shù)795×596
輔助尋象系統(tǒng):高亮度半導(dǎo)體激光器
可選購具有Renishaw精密光柵系統(tǒng)分辨率0.2μm的測高裝置,測量范圍100mm
儀器主機外型尺寸(mm):1300 × 1250 × 800
儀器主機總重:450kg